技术编号:3436344
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于有色金属,化学工艺,具体涉及以四氯化硅为原 料制取三氯氢硅、多晶硅的方法,尤其涉及一种等离子体诱导的氢气与SiCl4发生还原反应,将SiCl4转化为SiHCl3、多晶硅和HC1的方法。 技术背景目前,改良西门子法是国内外生产多晶硅的主流工艺。随着光伏产业 的快速发展,作为太阳能电池原料的高纯多晶硅,已成为十分重要的半导 体材料,各地许多多晶硅项目相继投入生产。四氯化硅是该工艺生产多晶 硅产生的主要副产品。每生产1吨多晶硅会产生10吨以上的四氯化硅...
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