技术编号:3436944
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于纳米材料,涉及一种图案化碳纳米材料的制备方法, 尤其涉及一种采用电子束光刻聚甲基丙烯酸甲酯薄膜制备图案化碳纳米结构 材料的方法。背景技术图案化的碳纳米结构材料由于在场发射,集成电路,纳米电极,光学器件, 生物器件等方面的潜在应用引起了人们的关注。目前,制备图案化的碳纳米结 构材料的方法有很多,包括化学气相沉积,溅射法,电子束辐照单层高分子材 料,电子束诱导沉积法等等,各种方法使用的前驱体都不同。电子束诱导沉积方法是在高强度的电子束作用下碳氢气体分...
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