技术编号:3437431
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种从单晶硅或多晶硅棒的切割或磨削加工硅晶片过程中产生的废砂浆中制取白炭黑同时回收碳化硅的方法。具体的,将硅晶片加工工艺中产生的线切割 废砂浆利用其中的硅制取白炭黑,同时回收其中的碳化硅固体微粉以实现再次用于硅棒 切片工序的目的。背景技术白炭黑的学名是水合二氧化硅(mSiCVnH20),因其微观结构和聚集体形态和炭 黑类似,补强性能与炭黑相媲美,故被称为白炭黑。白炭黑具有粒径小、比表面积大、 化学纯度高、分散性能好等特征,以其优越的稳定性、补强性...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。