技术编号:3441195
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过采用各种含氟物质、无定形二氧化硅(SiO2)以及硫酸 (H2SO4)连续生产四氟硅烷(SiF4)的方法。更具体地,本发明涉及一种通过在单个反应器中使(i)能够与硫酸反应产生氟化氢(HF)的氟化物源物质、(ii)无定形二氧化硅以及(iii) 硫酸进行反应;并且随后将得到的气态产物通过H2SO4洗涤器以生产四氟硅烷的方法。根据本发明,四氟硅烷的产率能够提高并且能够通过采用除氟化氢以外的各种含氟物质以环境友好的方式低成本连续生产。此外,由于将反...
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