技术编号:3443596
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于硅化工领域,涉及一种多晶硅并网生产装置。 背景技术多晶硅,是单质硅的一种形态,是极为重要的优良半导体材料。多晶硅是电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。在多晶硅生产过程中,氢气缓冲罐是一个比较重要的设备,其主要作用是有效利用氢化、还原回收的H2,使整个生产过程稳定有效的进行。但是,当TCS的合成因各种因素不能开车时,从氢化、还原回收的H2不能得到有效的利用,导致合成原料H2和Cl2的消耗用量...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。