一种多晶硅并网生产装置的制作方法

文档序号:3443596阅读:329来源:国知局
专利名称:一种多晶硅并网生产装置的制作方法
技术领域
本实用新型属于硅化工领域,涉及一种多晶硅并网生产装置。
背景技术
多晶硅,是单质硅的一种形态,是极为重要的优良半导体材料。多晶硅是电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。在多晶硅生产过程中,氢气缓冲罐是一个比较重要的设备,其主要作用是有效利用氢化、还原回收的H2,使整个生产过程稳定有效的进行。但是,当TCS的合成因各种因素不能开车时,从氢化、还原回收的H2不能得到有效的利用,导致合成原料H2和Cl2的消耗用量增加,提高了生产成本。

实用新型内容本实用新型的发明目的在于针对上述存在的问题,提供一种多晶硅并网生产装置。该多晶硅并网生产装置构思巧妙、设计合理,有效降低了生产成本,提高装置运行经济性。为实现上述目的,本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种多晶硅并网生产装置,包括设置有第一氢气缓冲罐的第一生产装置和设置有第二氢气缓冲罐的第二生产装置,所述第一氢气缓冲罐和第二氢气缓冲罐之间通过连接管连通,所述连接管上设置有控制阀。作为优选方式,所述连接管为无缝碳钢管。作为优选方式,所述控制阀为球形阀。作为优选方式,所述第一氢气缓冲罐和第二氢气缓冲罐与连接管之间通过法兰连接。本实用新型将两条线的H2缓冲罐配置并联在一起,避免某条线因TCS合成因各类因素不能开车,从氢化、还原回收的H2不能得到更有效地利用,通过串联管路能将H2输送至另一条装置进行生产,优化资源配置,以降低合成的原料H2和Cl2的消耗用量,达到一定的经济价值。由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是本实用新型构思巧妙、设计合理,有效降低了生产成本,提高装置运行经济性。

图1是本实用新型结构示意图。图中标记1第一氢气缓冲罐、2第二氢气缓冲罐、3连接管、4控制阀。
具体实施方式

以下结合附图,对本实用新型作详细的说明。[0016]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,
以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。实施例如图1所示,一种多晶硅并网生产装置,包括设置有第一氢气缓冲罐的第一生产装置和设置有第二氢气缓冲罐的第二生产装置,所述第一氢气缓冲罐和第二氢气缓冲罐之间通过连接管连通,所述连接管上设置有控制阀。所述连接管为无缝碳钢管。所述控制阀为球形阀。所述第一氢气缓冲罐和第二氢气缓冲罐与连接管之间通过法兰连接。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种多晶硅并网生产装置,其特征在于包括设置有第一氢气缓冲罐的第一生产装置和设置有第二氢气缓冲罐的第二生产装置,所述第一氢气缓冲罐和第二氢气缓冲罐之间通过连接管连通,所述连接管上设置有控制阀。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅并网生产装置,其特征在于所述连接管为无缝碳钢管。
3.如权利要求1所述的一种多晶硅并网生产装置,其特征在于所述控制阀为球形阀。
4.如权利要求1所述的一种多晶硅并网生产装置,其特征在于所述第一氢气缓冲罐和第二氢气缓冲罐与连接管之间通过法兰连接。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅并网生产装置,包括设置有第一氢气缓冲罐的第一生产装置和设置有第二氢气缓冲罐的第二生产装置,所述第一氢气缓冲罐和第二氢气缓冲罐之间通过连接管连通,所述连接管上设置有控制阀。本实用新型构思巧妙、设计合理,有效降低了生产成本,提高装置运行经济性。
文档编号C01B33/03GK202063725SQ20112010551
公开日2011年12月7日 申请日期2011年4月12日 优先权日2011年4月12日
发明者徐德懿, 梁勇 申请人:四川瑞能硅材料有限公司
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