技术编号:3443719
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于环保,涉及到多晶硅副产品四氯化硅(SiCU)的回收利用方法。 背景技术目前,国内外大量三氯氢硅企业和采用西门子工艺的多晶硅厂均采用硅粉(Si)与氯 化氢(HC1)合成制取三氯氢硅(SiHCl3) , SiHCl3则用于生产多晶硅,SiCU为副产品。 在合成产物中,SiHCl3约占80X, SiCU约占20X。Si + 3HC1 = SiHCl; + H2Si + 4HC1 = SiCl4 + 2H22SiHCl3 + H2 = Si + 2HC...
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