技术编号:3443914
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于多晶硅生产的还原炉系列的设备,特别是还原炉电极校正器。 背景技术多晶硅的多晶硅生产多采用三氯氢硅还原法,即三氯氢硅和氢气反应生成多晶硅并沉积积累在硅芯电极表面形成硅棒,但是在生产过程中常常会出现会出现非正常停炉、 倒棒这类异常问题,经过多重分析,这类问题情况的出现时,均与硅芯在生长过程中发生倾斜有关,而硅芯是否倾斜和电极的水平垂直度有着直接的关系。目前,在硅芯安装过程中,一般都是是根据生产人员的安装经验和肉眼判断来对硅芯电极进行校正,没有具体...
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