专利名称：还原炉电极校正器的制作方法
技术领域：
本实用新型属于多晶硅生产的还原炉系列的设备，特别是还原炉电极校正器。
背景技术：
多晶硅的多晶硅生产多采用三氯氢硅还原法，即三氯氢硅和氢气反应生成多晶硅并沉积积累在硅芯电极表面形成硅棒，但是在生产过程中常常会出现会出现非正常停炉、 倒棒这类异常问题，经过多重分析，这类问题情况的出现时，均与硅芯在生长过程中发生倾斜有关，而硅芯是否倾斜和电极的水平垂直度有着直接的关系。目前，在硅芯安装过程中，一般都是是根据生产人员的安装经验和肉眼判断来对硅芯电极进行校正，没有具体的校正工具，所以容易出现偏差，从而就导致了硅芯在生长过程中出现非正常停炉和倒棒的问题。
实用新型内容本实用新型为解决多晶硅的硅芯发生倾斜情况，提供了还原炉电极校正器，该校正器可以减少电极校正损伤，延长电极使用的寿命，避免了在硅芯安装中时才发现电极倾斜导致硅芯安装不正需要重新校正电极的问题，可以保证硅芯无倾斜(前提是硅芯本身无倾斜)，从而也就对后期的产品正常生产和有效的提高了开炉成功率起到了极为重要的作用，同时提高了工作效率很好的节约了非正常情况下的时间。本实用新型的具体技术方案如下还原炉电极校正器，其特征在于包括上套接件和下套接件，上套接件位于下套接件上端，上套接件与下套接件上下固定连接，上套接件的顶面镶嵌设置有水平仪；所述下套接件下端设置有套接电极的中空部分，该套接电极的中空部分呈与电极外形相适配的椎台状。所述上套接件呈正六棱柱套接件。所述下套接件呈圆柱形套接件。所述水平仪的显示窗位于上套接件顶面。所述下套接件为不锈钢材质。具体使用方法为在待装的还原炉盘上，将本实用新型的圆柱形套接件套在每个电极上，对每个电极进行快捷的预校正，正六棱柱套接件的六侧面受力均勻。当发现有倾斜的电极时，可根据校正器水平仪上显示的倾斜度直接使用橡胶锤进行物理撞击(电极头的结构为外银内铜， 材质较软)修正。由于校正器的圆柱形套接件内部套接锥度可较好的保护电极的锥度得到均勻受力，从而更好的保护电极的外部锥度，延长了电极使用的寿命。本实用新型的有益效果如下本实用新型可以保证硅芯无倾斜(前提是硅芯本身无倾斜)，能更好的减少电极校正损伤，保护电极表面，延长电极使用的寿命，提高工作效率和开炉的成功率，在进行电极倾斜度的判断与修正时比用经验判断更为标准；而且本实用新型结构简单易用，成本低廉， 准确率较高。
图1为本实用新型的俯视结构示意图图2为本实用新型的仰视结构示意图图3为本实用新型图1中A-A的剖面结构示意图图4为本实用新型的主视结构示意图图5为本实用新型的立体结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，还原炉电极校正器，包括上套接件1和下套接件2，上套接件1位于下套接件2上端，上套接件1与下套接件2上下固定连接，上套接件1的顶面镶嵌设置有水平仪3 ；所述下套接件2下端设置有套接电极的中空部分4，该套接电极的中空部分4呈与电极外形相适配的椎台状。所述上套接件1设计为正六棱柱套接件，这时可以将下套接件2设计为圆柱形套接件。所述水平仪3的显示窗设置在上套接件1顶面上，上套接件1因为是正六棱柱套接件，所以顶面是水平面，很容易进行检测。所述水平仪3的显示窗位于正六棱柱套接件1顶面。所述圆柱形套接件2为不锈钢材质。具体使用方法为在待装的还原炉盘上，将本实用新型的圆柱形的下套接件套在每个电极上，对每个电极进行快捷的预校正，正六棱柱形的上套接件的六侧面受力均勻。当发现有倾斜的电极时，可根据校正器水平仪上显示的倾斜度直接使用橡胶锤进行物理撞击 (电极头的结构为外银内铜，材质较软)修正。由于校正器的下套接件内部套接锥度可较好的保护电极的锥度得到均勻受力，从而更好的保护电极的外部锥度，延长了电极使用的寿命。通过本实用新型可快捷的检测电极的垂直度和表面锥度的状态，迅速的判定测试的电极是否可以使用，如发现需要修正的电极可立即进行修正操作。
权利要求1.还原炉电极校正器，其特征在于包括上套接件(1)和下套接件(2)，上套接件(1)位于下套接件(2)上端，上套接件(1)与下套接件(2)上下固定连接，上套接件(1)的顶面镶嵌设置有水平仪(3)；所述下套接件(2)下端设置有套接电极的中空部分(4)，该套接电极的中空部分(4)呈与电极外形相适配的椎台状。
2.根据其权利要求1所述的还原炉电极校正器，其特征在于所述上套接件(1)呈正六棱柱套接件。
3.根据其权利要求1或2所述的还原炉电极校正器，其特征在于所述下套接件(2)呈圆柱形套接件。
4.根据其权利要求3所述的还原炉电极校正器，其特征在于所述水平仪(3)的显示窗位于上套接件(1)顶面。
5.根据其权利要求2所述的还原炉电极校正器，其特征在于所述下套接件(2)为不锈钢材质。
专利摘要本实用新型涉及多晶硅还原炉技术，特别是还原炉电极校正器，包括上套接件和下套接件，上套接件位于下套接件上端，上套接件与下套接件上下固定连接，上套接件的顶面镶嵌设置有水平仪；所述下套接件下端设置有套接电极的中空部分，该套接电极的中空部分呈与电极外形相适配的椎台状；本实用新型可以保证硅芯无倾斜(前提是硅芯本身无倾斜)，减少电极校正损伤，延长电极使用的寿命，提高工作效率和开炉的成功率；而且结构简单易用，成本低廉，准确率较高。
文档编号C01B33/035GK202072481SQ20112017722
公开日2011年12月14日 申请日期2011年5月30日 优先权日2011年5月30日
发明者幸晓伟 申请人:天威四川硅业有限责任公司