技术编号:3443915
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于气体分离设备领域,特别涉及多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备。背景技术目前,多晶硅生产主要采用的是改良西门子法。在改良西门子法生产多晶硅的过程中,需要对还原尾气以及氢化尾气中的各组分,主要包括氢气、氯化氢、氯硅烷等,进行分离并回收利用。氯硅烷主要包括二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅。对多晶硅生产中产生的尾气,目前采取的主要方法是“干法回收”。“干法回收”主要是利用还原尾气中氢气、 氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅等各组分物理、化学性质的差异,...
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