技术编号:3444570
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种高压绝缘隔热组件,是多晶硅还原炉中对电极棒及聚四氟起到绝缘、隔热的专用新材料产品。背景技术氮化硅、95氧化铝和99氧化铝等具有绝缘性好、韧性高、耐高温和抗震性好的特点,能满足多晶硅还原炉的环境使用要求,已广泛应用于多晶硅还原炉的高压绝缘环护套材料,然而,随着多晶硅还原炉不断向大型化发展,对还原炉电极的绝缘隔热环护套产品的绝缘性、抗热震性等技术要求越来越高,特别是采用高压击穿的还原炉须兼顾高压性、绝缘性,现有一体式的高压绝缘隔热环护套产品的...
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