专利名称：多晶硅还原炉用绝缘隔热组件的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种高压绝缘隔热组件，是多晶硅还原炉中对电极棒及聚四氟起到绝缘、隔热的专用新材料产品。
背景技术：
氮化硅、95氧化铝和99氧化铝等具有绝缘性好、韧性高、耐高温和抗震性好的特点，能满足多晶硅还原炉的环境使用要求，已广泛应用于多晶硅还原炉的高压绝缘环护套材料，然而，随着多晶硅还原炉不断向大型化发展，对还原炉电极的绝缘隔热环护套产品的绝缘性、抗热震性等技术要求越来越高，特别是采用高压击穿的还原炉须兼顾高压性、绝缘性，现有一体式的高压绝缘隔热环护套产品的绝缘性和耐热冲击的效果不太理想，不仅常常出现破裂和出现电击穿现象，同时在生产过程中炸裂造成电极聚四氟乙烯绝缘套烧损， 严重影响多晶硅生产效率，造成重大损失。
发明内容本实用新型的目的是提供一种结构简单、绝缘性和耐热冲击性更好的多晶硅还原炉用绝缘隔热组件。本实用新型提供的一种多晶硅还原炉用绝缘隔热组件，由波纹环和直筒环组成， 其特征在于该绝缘隔热组件采用分体式设计，波纹环套装在直筒环外，波纹环外壁设计成波纹状结构，底部设有凹槽。所述的直筒环的长度可以根据电压及电极情况进行选定。直筒环的两端可以从波纹环的两端伸出各露出一段筒体，或者仅使直筒环的下端从波纹环的下端伸出露出一段筒体，而直筒环的上端与波纹环的上端齐平。本实用新型可以采用氧化铝陶瓷或氮化硅陶瓷或石英材料，主要起隔热、绝缘作用，波纹环外壁设计成波纹状结构，有利于在设计中尽可能保证爬电距离，并防止在生产过程中产生硅粉短路；波纹环外壁的波纹数量可以设计成1至6个，最好是设计成2个。这种结构的组件由于波纹环和直筒环为分体式设计，与现有一体式产品相比，前者结构更简单，容易烧制得更精巧，同时具有更好的绝缘性能和耐热冲击性能，可以很好的保护聚四氟乙烯绝缘环，使之不受热碳化，造成电极击穿。
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
本实用新型所述的多晶硅还原炉用绝缘隔热组件，由一个波纹环2和一个直筒环 1组成，直筒环1和波纹环2的材质可以采用氧化铝陶瓷或氮化硅陶瓷或石英材料。直筒环 1的外径略小于波纹环2内径，使得直筒环1能够套入波纹环2 ；直筒环1的长度可以根据电压及电极情况进行选定，直筒环1的长度大于波纹环2的长度；直筒环1的两端从波纹环 2的两端伸出各露出一段筒体，或者直筒环1的下端从波纹环2的下端伸出露出一段筒体， 直筒环1的上端与波纹环2的上端齐平；波纹环2外壁设计有二个或三个或四个或五个或六个波纹状结构3，波纹环2底部有凹槽4。上述多晶硅还原炉用绝缘隔热组件中，为便安装，直筒环1比电极棒的直径略大，装配时将直筒环1套在多晶硅还原炉电极外，波纹环2 再套在直筒环外，底部凹槽4正好把聚四氟乙烯绝缘环罩住。
权利要求1.一种多晶硅还原炉用绝缘隔热组件，由波纹环(2)和直筒环(1)组成，其特征在于 该绝缘隔热组件采用分体式设计，波纹环(2)套装在直筒环(1)外，波纹环(2)外壁设计成波纹状结构(3)，底部设有凹槽(4)。
2.根据权利要求1所述多晶硅还原炉用绝缘隔热组件，其特征在于直筒环(1)的两端从波纹环(2)的两端伸出各露出一段筒体。
3.根据权利要求1所述多晶硅还原炉用绝缘隔热组件，其特征在于直筒环(1)的下端从波纹环(2)的下端伸出露出一段筒体，直筒环(1)的上端与波纹环(2)的上端齐平。
4.根据权利要求1或2或3所述多晶硅还原炉用绝缘隔热组件，其特征在于波纹环 (2)外壁波纹状结构(3)的数量为1至6个。
5.根据权利要求4所述多晶硅还原炉用绝缘隔热组件，其特征在于波纹环(2)外壁波纹状结构(3)的数量为2个。
专利摘要本实用新型涉及一种多晶硅还原炉用绝缘隔热组件，由波纹环(2)和直筒环(1)组成，其特征在于该绝缘隔热组件采用分体式设计，波纹环(2)套装在直筒环(1)外，波纹环外壁设计成波纹状结构(3)，底部设有凹槽(4)。本实用新型采用波纹环和直筒环分体式组合设计，使产品结构简单易造，使用时具有更好的绝缘性能和耐热冲击性能，不易破裂，可以很好地保护聚四氟乙烯绝缘环，使之不受热碳化，造成电极击穿。
文档编号C01B33/035GK202246097SQ20112040929
公开日2012年5月30日 申请日期2011年10月25日 优先权日2011年10月25日
发明者何姗, 何建和, 李嘉连, 李斌杰, 程佳彪, 罗奕惠, 陈家润 申请人:景德镇晶达新材料有限公司