技术编号:3444619
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化工工艺,尤其涉及一种有效提高生产效率且降低混合液中固体颗粒含量的系统。背景技术电子级多晶硅材料是众多高科技电子信息行业不可或缺的原料。硅烷又是生产电子级多晶硅的唯一原料。而生产硅烷就必须有四氟化铝钠浆料的产生,浆料中四氟化铝钠为固体颗粒,DME和甲苯为混合液。在生产硅烷的反应中四氢化铝钠是原料之一,而生产四氢化铝钠反应时要使用甲苯,溶解时要使用DME。所以DME和甲苯混合液回收速度影响整个硅烷生产进度;并且回收甲苯的清洁度也影响硅烷原料四氢...
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