技术编号:3445423
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于磷酸净化领域,特别涉及用熔融结晶法净化磷酸制备电子级磷酸的方法。背景技术电子级磷酸属于高纯磷酸,广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD) 等微电子工业,主要用于芯片的清洗和蚀刻,其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响,纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗,纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻,由于不溶性固体颗粒或者金属离子都可能在微细电路之间导通电流,使之短路,所以电子级磷酸对不溶性固体颗粒和绝大多...
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