技术编号:3445772
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及铈氧化物粒子的液体悬浮液和粉末、其制备方法及其特别在抛光中的用途。 背景技术电子工业的发展要求越来越多地使用用于抛光各种部件如介电化合物或盘片的组合物。这些组合物是悬浮液形式且它们必须符合一些特征。例如,它们必须提供高的材料去除率,这反映它们的研磨能力。它们还必须具有尽可能低的缺陷性(d6fectivit6);术语“缺陷性”特别是指用该组合物处理后的基底表现出的划痕率。出于稳定性和易用性原因,这些悬浮液必须由亚微米尺度,即通常小于300纳米的粒子...
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