技术编号:3446409
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及四氯化硅的氢化方法,特别涉及一种四氯化硅的快速循环流态化氢化方法。背景多晶硅生产过程中,每生产I吨的多晶硅,将产生大约14吨的四氯化硅副产物。如果不能将四氯化硅循环利用或者处理失当,不但造成资源浪费、多晶硅生产成本増大,而且可能会发生重大环境灾难。四氯化硅氢化可以得到高纯三氯氢硅,高纯三氯氢硅是生产多晶硅的原料。因此,四氯化硅氢化解决了四氯化硅的循环利用,实现了多晶硅生产エ艺的闭路生产。·按照进料和反应温度的不同,氢化法制备三氯氢硅又有热氢化和冷...
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