技术编号:3446436
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种绿碳化硅合成的エ艺方法。背景技术目前绿碳化硅生产吋,特别是在合成エ艺中,采用合成炉进行生产,其合成炉的炉膛为ー长槽体,槽体的两端设有电极,在电极之间的槽体从中心向四周依划分成炉芯区、反应料区和焙烧料区,在炉芯区装填导电石墨,在反应料区装填反应料,在焙烧料区装填焙烧料,导电石墨周围的反应料区由于距离导电石墨的远近,在实际生产中的温度的差异,又分成了分解区和反应区,即距电石墨较近的区域为分解区,即距电石墨较远的反应料区为反应区。 目前的生产中,是...
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