技术编号:3446594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出了一种制备原子尺度石墨烯沟槽的方法,可用于制造原子尺度的石墨烯沟槽及基于此方法的各种微结构和器件,在材料学、物理学、微电子学和纳电子学领域具有应用价值。背景技术石墨烯是一种新型二维材料,在2004年由A. K. Geim和K. S. Novoselov发现的,是单原子层的薄膜,能够稳定存在于大气环境下,具有完美的晶体结构和优异的性能,在许多领域具有广泛的研究和应用价值。由于石墨稀的独特晶体结构,使其具有极闻的载流子迁移率,最闻可达 2X IO5C...
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