技术编号:3448548
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于エ业气体加工生产领域,具体是ー种带有超纯氨净化器的连接管。技术背景超纯氨在电子产品加工领域具有很重要的应用,如半导体芯片、IXD/LED液晶显示屏和平板显示设备等的制造过程中,需要使用大量的超纯氨,在这些过程中,要求氨的纯度要足够高,在沉积膜中即使是痕量的杂质,也会导致膜品质和性能的下降,如氧杂质会造成晶格欲陷,最終导致器件报废。然而,在氨气原料的生产过程中,即使制氨エ厂能够把氨提纯到足够的纯度,由于在充装、储存、运输和使用等环节,超纯氨都存...
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