专利名称：一种带有超纯氨净化器的连接管的制作方法
技术领域：
本实用新型属于エ业气体加工生产领域，具体是ー种带有超纯氨净化器的连接管。
技术背景超纯氨在电子产品加工领域具有很重要的应用，如半导体芯片、IXD/LED液晶显示屏和平板显示设备等的制造过程中，需要使用大量的超纯氨，在这些过程中，要求氨的纯度要足够高，在沉积膜中即使是痕量的杂质，也会导致膜品质和性能的下降，如氧杂质会造成晶格欲陷，最終导致器件报废。然而，在氨气原料的生产过程中，即使制氨エ厂能够把氨提纯到足够的纯度，由于在充装、储存、运输和使用等环节，超纯氨都存在被污染的可能，因此就有必要采取措施使确保进入使用氨气使用系统的超纯氨纯度免遭污染。
发明内容本实用新型的技术目的是提供一种简单、方便的装置解决现有技术中存在的问题。本实用新型的技术方案是一种带有超纯氨净化器的连接管，其特征在干，其设置于氨气原料管路与氨气使用设备的氨气进ロ管路之间，包括分别与氨气原料管路、氨气使用设备的进ロ管路连接的进ロ管口和出口管ロ，所述进ロ管口和出口管ロ之间设有氨气净化系统。进ー步的技术方案包括在所述进ロ管ロ上设有控制管路启闭的电磁阀。所述净化系统包括脱氧单元和除水単元。本装置在使用时，一端连接氨气原料管路，另一端连接氨气使用设备，使氨气原料通过所述浄化器再进入氨气使用设备，用于去除氨气原料在充装、储存、运输和之前的使用环节中可能产生的杂质污染，有效保障了后续エ艺的安全进行和产品质量，提高了产品的良品率，避免了不必要的损失，并且本实用新型结构简单、使用方便。
图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为了阐明本实用新型的技术方案及技术目的，
以下结合附图及具体实施方式
对本实用新型做进ー步的介绍。如图I所示，一种带有超纯氨净化器的连接管，两端分别为进ロ管ロ I和出口管ロ 2，使用时，将ー端的进ロ管ロ I连接在氨气原料管路输出管路上，将另一端的出口管ロ 2连接在氨气使用设备的氨气输入进ロ管路上，所述进ロ管ロ I和出口管ロ 2上均设有密封装置。所述进ロ管ロ I和出口管ロ 2之间设有氨气净化系统3，所述净化系统3包括脱氧单元和除水単元，用于净化进入氨气使用设备的氨气原料中的02、H20杂质。所述进ロ管ロ I上还设有控制管路启闭的电磁阀4，当原料氨气污染超标，超出所述净化系统3的浄化能力范围使，即控制电磁阀4关闭进ロ管路1，停止原料供给。以上已以较佳实施例公开了本实用新型，然其并非用以限制本实用新型，凡采用等同替换或者等效变换方式所获得的技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。·
权利要求1.一种带有超纯氨净化器的连接管，其特征在干，其设置于氨气原料管路与氨气使用设备的氨气进ロ管路之间，包括分别与氨气原料管路、氨气使用设备的氨气进ロ连接的进ロ管口和出口管ロ，所述进ロ管口和出口管ロ之间设有氨气净化系统。
2.根据权利要求I所述的ー种带有超纯氨净化器的连接管，其特征在于，在所述进ロ管ロ上设有控制管路启闭的电磁阀。
3.根据权利要求I或2所述的ー种带有带有超纯氨净化器的连接管，其特征在于，所述净化系统包括脱氧单元和除水单元。
专利摘要本实用新型公开了一种带有超纯氨净化器的连接管，设置于氨气原料管路与氨气使用设备的氨气进口管路之间，包括分别与氨气原料管路、氨气使用设备的氨气进口连接的进口管口和出口管口，所述进口管口和出口管口之间设有氨气净化系统。本实用新型通过在氨气原料管路和氨气使用设备之间预设净化器，有效净化即将进入原料使用设备的氨气原料，去除氨气原料在充装、储存、运输等环节中可能产生的杂质污染，有效保障后续工艺的安全运行和产品生产质量。
文档编号C01C1/12GK202440317SQ201220038130
公开日2012年9月19日 申请日期2012年2月7日 优先权日2012年2月7日
发明者周旻, 陈军 申请人:南京特种气体厂有限公司