技术编号:3449803
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉参考本申请要求2003年8月13日申请的美国临时申请60/494729的优先权。背景技术1.发明领域本发明涉及用于富集其中含有金属杂质和/或气体杂质和/或水分的粗氨物流的方法和装置。2.现有技术的描述在半导体生产中将氨用于除去大量各种杂质,包括水分、气体杂质和金属。气体杂质包括氧、氮、氢、一氧化碳和二氧化碳。金属包括钠、钾、铝、钙、铁、镍、铬、铜、锰和锌。需要能够回收和循环在半导体生产中使用的氨。回收和循环将会节约原料成本并降低工艺过程的污水...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。