专利名称：用于富集氨的方法和装置的制作方法
相关申请的交叉参考本申请要求2003年8月13日申请的美国临时申请60/494729的优先权。
背景技术：
1.发明领域本发明涉及用于富集其中含有金属杂质和/或气体杂质和/或水分的粗氨物流的方法和装置。
2.现有技术的描述在半导体生产中将氨用于除去大量各种杂质，包括水分、气体杂质和金属。气体杂质包括氧、氮、氢、一氧化碳和二氧化碳。金属包括钠、钾、铝、钙、铁、镍、铬、铜、锰和锌。
需要能够回收和循环在半导体生产中使用的氨。回收和循环将会节约原料成本并降低工艺过程的污水。氨中杂质的存在妨碍了直接回收和循环。
美国专利US6065306公开了一种用于从粗氨物流中除去杂质的方法。通过经由变温吸附(temperature swing adsorption)装置除去水分和经由气体分离膜除去气体杂质可以对粗氨物流进行富集。
因此需要具有一种能够回收和循环氨的方法和装置。还需要具有一种能够富集粗氨物流的方法和装置。还需要具有一种能够从粗氨物流中回收水分、金属和气体杂质的方法和装置。还需要具有一种能够富集半导体生产工艺中的粗氨物流的方法和装置。
已经令人惊奇地发现了一种能够回收和循环氨的方法和装置。还令人惊奇地发现了一种能够回收和循环半导体生产工艺中氨的方法和装置。还令人惊奇地发现了一种能够富集粗氨物流的方法和装置。还令人惊奇地发现了一种能够富集氨并除去水分、金属杂质和气体杂质的方法和装置。
发明概述一种用于富集其中含有水分和/或金属杂质和/或气体杂质的粗氨物流的方法。粗氨物流冷凝形成液态粗氨流。将蒸馏膜或渗透蒸发膜与液态粗氨物流进行接触，形成富集氨的蒸汽流，将其以渗透物的形式除去。当粗氨物流源自生产设备时，富集氨的蒸汽流可以循环回到该生产设备中。
一种用于富集其中含有水分和/或金属杂质和/或气体杂质的粗氨物流的方法。该方法包括下述步骤a)输送粗氨物流到第一分离器，该分离器保持在足以形成第一粗氨液态流和第一粗氨蒸汽流的条件下；b)将气体分离膜与第一粗氨蒸汽流接触以形成第一富集氨的蒸汽流，将其以渗透物的形式除去；c)输送第一富集氨的蒸汽流到第一分离器；d)输送第一粗氨液态流到第二分离器，该分离器保持在足以形成第二粗氨液态流和作为产物物流的第二富集氨的蒸汽流的条件下；e)将气体蒸馏膜与第二粗氨液态流接触以形成第三富集氨的蒸汽流，将其以渗透物的形式除去；然后f)输送第三富集氨的蒸汽流到所述第一分离器。
一种用于富集其中含有水分和/或金属杂质和/或气体杂质的粗氨物流的装置。该装置具有a)用于冷凝该粗氨物流以形成液态粗氨物流的冷凝器和b)蒸馏膜或渗透蒸发膜，它们可以从所述液态粗氨物流中分离出一种富集氨的蒸汽的渗透物物流。
一种用于富集其中含有水分和/或金属杂质和/或气体杂质的粗氨物流的装置。该装置具有a)第一分离器，它能够形成第一粗氨液态流和第一粗氨蒸汽流；b)气体分离膜，它能够从第一粗氨蒸汽中分离出第一富集氨的蒸汽流；c)第一导管，它是用来输送第一富集氨的蒸汽流到第一分离器中；d)第二导管，它是用来输送所述第一粗氨液态流到第二分离器中，其中，第二分离器能够从所述第一粗氨液态流中分离出第二粗氨液态流和作为产物流的第二富集氨的蒸汽流；e)气体蒸馏膜，它能够从所述第二粗氨液态流中分离出第三富集氨的蒸汽流；和f)第三导管，它是用来输送第三富集氨的蒸汽流到第一分离器中。
本发明的实施方案借助于本文中的多个附图进行概括性说明。
图1表示本发明的方法和装置的一种实施方案的示意图。
图2表示本发明的方法和装置的另一种实施方案的示意图。
图3表示本发明的方法和装置的又一种实施方案的示意图。
图4表示本发明的方法和装置的又一种实施方案的示意图。
发明详述当其源自生产设备时，粗氨通常呈蒸汽形式。通过降低温度和/或提高压力可以将蒸汽冷凝到接近液态。冷凝装置(冷凝器)可采取任何冷凝和/或压力容器的形式，其中，温度和/或压力和/或体积可以进行调节。温度范围通常是在约-30℃至约10℃之间变化。压力范围通常是在约1.18至约6.075绝对大气压之间变化。粗氨液体可以是任意已知的热动力学形式，诸如临界液体或常规液体。
在冷凝之后，粗氨液体与蒸馏膜或渗透蒸发膜接触，得到富集氨蒸汽。蒸馏膜或渗透蒸发膜释放出氨蒸汽，但保留了大部分渗余物形式的金属杂质和/或水分。
渗透蒸发膜一般通过在渗余物侧吸附液体、扩散流过该膜然后在渗透物侧脱附来进行操作。蒸馏膜一般通过蒸发和扩散流过膜微孔结构而进行操作。操作温度的范围通常是在约-30℃至约10℃之间变化。在-30下，操作压力的范围通常至少是约1.18绝对大气压。在10下，操作压力通常至少是约6.075绝对大气压。优选地，在选定压力下，该膜的操作温度是在约0℃至约5℃的范围内，使得氨在该温度下能够液化。对于膜蒸馏来说，在任何操作温度下氨的压力都不应该超过选用膜的侵入压力(intrusion pressure)，在该压力下氨将会渗透到该膜的微孔结构中。
蒸馏膜通常由微孔材料组成，其包括微孔聚合物。蒸馏膜材料是疏水性的。膜的表面通常不能被水和氨所湿润。微孔膜的常规孔径在约0.1至约100微米间变化。优选的膜孔径在约0.1至约5微米间变化。最优选的膜孔径大约是0.2微米。微孔膜可由各种不同聚合物制成，包括聚偏氟乙烯(PVDF)、Teflon(PTFE)和聚丙烯。
渗透蒸发膜材料通常是用于气体分离膜的物质的致密材料。如果使用渗透蒸发膜，则由于致密膜不存在侵入压力，所以也就不存在侵入压力的限制。
然后通过使之流过气体分离组件以形成进一步富集的氨蒸汽通过除去大部分气体杂质任选地将从蒸馏膜或渗透蒸发膜组件留出的富集氨蒸汽进一步进行富集。该组件具有气体分离膜，它能够允许氨蒸汽流过，但保留了大部分渗余物形式的气体杂质。气体分离膜通常由聚合物材料制成的致密膜组成。优选材料为NAFION聚合物(E.I.du Pont de Nemours and Co.)。NAFION是四氟乙烯和全氟3，6-二氧杂-4-甲基-7-辛烯-磺酸的共聚物。另一种有用材料为乙烷-丙烯三元共聚物和聚氯丁二烯。
在气体分离组件中，污染的氨产物流用工艺压缩机或其它装置进行压缩，以提高进料压力至计算的压力，从而防止氨在该工艺过程进行的温度下发生液化。该工艺过程可在约-30℃至约30℃之间变化的温度下进行。优选地，该温度在约-30℃至10℃之间变化。在-30下，压力应当低于约1.18绝对大气压。在10下，压力应当低于约6.075绝对大气压。最优选的温度是约0℃至约5℃。将氨物流冷却，然后将其引入到至少一个膜中。如果该工艺过程在室温以下进行，则将压缩的进料物流在换热器内冷却。例如，一类换热器是一种两通道、板-肋装置，其中将液体冷却剂(诸如的自液体冷却罐)作为冷却剂物流输送流过换热器。将冷却的进料物流输送到膜组件，该膜组件位于填充有隔热材料的低温箱的内部。气体分离组件可以是一个单一组件或装置，也可以是一系列的两个或多个这类组件或装置。
如果需要进行氨循环，则可通过本领域已知的任何方法将富集的氨蒸汽直接或间接地输送到生产设备之中。从蒸馏膜、渗透蒸发膜或气体分离膜流出的富集氨的蒸汽具有相对低的温度和压力。此外，一些氨业已损失在渗余物物流和其它工艺损失之中。所以，在返回到生产设备之前，需要将富集氨的蒸汽转换为更高的温度和压力并补充损失的氨。
在优选的方法中，将从蒸馏膜、渗透蒸发膜或气体分离膜流出的富集氨的蒸汽冷凝并向其中添加补充的氨，以形成富集氨的液体。然后该富集氨的液体蒸发并输送到生产设备中以供使用。用来形成富集氨液体的冷凝装置可以是本领域已知的任何冷凝装置(冷凝器)，包括上述的那些冷凝装置。优选用于此应用的冷凝装置是热泵冷凝器。冷凝温度和压力如上所述。用来形成富集氨的蒸汽的蒸发装置可以是本领域已知的任何蒸发装置，诸如热泵蒸发器或两通道板肋换热器。优选的蒸发装置为热泵蒸发器。
尽管工业实践中遇到的粗氨物流的污染物的含量将会变动，但是，自半导体生产设备中流出的典型粗氨通常在进料中含有约100ppm的杂质。这些杂质通常包括氮、氧、氢、一氧化碳、二氧化碳、烃、有机物、水分和金属。自本发明方法得到的加工后的氨产物流通常含有约10ppm或更低的所述杂质。
本发明的装置的一种实施方案如图1所示，并且由数字标记10概括表示。装置10表示一种半导体生产工艺或其中将氨用于清洁目的并且是连续循环的生产工艺。装置10具有设备14和18，它们概括性地图示了制备作为工艺副产物的粗氨的生产设备。设备14和18的具体结构或功能或设备的数目对本发明不是关键性的。将接近蒸汽形式的粗氨通过导管16和19(它们汇合为导管20)输送到冷凝器22。如果希望或需要的话，将压缩机(图中未画出)或过滤器(图中未画出)安装在设备14/18和冷凝器22之间。在冷凝器22中，通过降低温度和/或提高压力将粗氨冷凝到接近液态。将粗氨液体通过导管24输送到蒸馏膜或渗透蒸发膜组件26中。如果希望或需要的话，压缩机(图中未画出)可安装在冷凝器22和组件26之间。组件26具有膜29，它具有渗余物侧28和渗透物侧30。将渗余物物流31从膜29的渗余物侧28取出。渗余物物流31是氨连同含量升高的金属和/或水分污染物的浓缩物。在渗余物物流31中金属和水分污染物的相对量高于冷凝粗氨中的量。氨在渗透物侧30以第一富集氨的蒸汽形式蒸发，并通过导管32流到热泵冷凝器34。将第一富集氨的蒸汽在冷凝器34中通过温度降低和/或压力提高而进行冷凝。补充的氨在冷凝器34加入，以形成富集氨的液体，将其通过导管36输送到热泵蒸发器38。在蒸发器38中，富集氨的液体蒸发形成第二富集氨的蒸汽，将其通过导管40输送到设备14和18以供生产工艺使用。装置10具有阀门15、17、33、39和41以调节其中流过的各种工艺物流的流量。
本发明的装置的另一种实施方案如图2所示，并且由数字标记42概括表示。装置42表示其中将氨用于清洁目的并且是连续循环的生产工艺。装置42具有设备46和50，它们概括性地图示了制备作为工艺副产物的粗氨的生产设备。设备46和50的具体结构或功能或设备的数目，对本发明不是关键性的。将粗氨物流通过导管48和52(它们汇合为导管53)输送到冷凝器54。如果希望或需要的话，压缩机(图中未画出)或过滤器(图中未画出)可安装在设备46/50和冷凝器54之间。在冷凝器54中，通过降低温度和/或提高压力将粗氨冷凝到接近液态。将粗氨液体通过导管56输送到蒸馏膜或渗透蒸发膜组件58。如果希望或需要的话，压缩机(图中未画出)可安装在冷凝器54和组件58之间。组件58具有膜61，它具有渗余物侧60和渗透物侧62。将渗余物物流60从膜61的渗余物侧60取出。渗余物物流59是氨和含量升高的金属和/或水分污染物的浓缩物。氨蒸汽从渗透物侧62以第一富集氨的蒸汽形式蒸发，并通过导管63将其输送到气体分离组件64。如果希望或需要的话，压缩机(图中未画出)可安装在组件58和组件64之间。组件64具有渗余物侧66、膜67和渗透物侧68。将渗余物物流69从膜67的渗余物侧66取出。物流69是氨和含量升高的气体杂质的蒸汽浓缩物。第一富集氨的蒸汽流过组件64得到进一步富集的氨蒸汽，将其称作第二富集蒸汽，将其通过导管70输送到热泵冷凝器72。将第二富集氨的蒸汽通过温度降低和/或压力提高在冷凝器72中冷凝。补充的氨在冷凝器72加入，以形成富集氨液体，将其通过导管74输送到热泵蒸发器76。在蒸发器76中，富集氨的液体蒸发形成第三富集氨蒸汽，将其通过导管78输送到设备46和50以供生产工艺使用。装置42具有阀门85、87、115、124和126以调节其中流过的各种工艺物流的流量。
本发明的装置的又一种实施方案如图3所示，并且由数字标记80概括表示。装置80表示一种其中将氨用于清洁目的并且是连续循环的半导体生产工艺。装置80具有设备84和88，它们概括性地图示了制备作为工艺副产物的粗氨的生产设备。设备84和88的具体结构或功能或设备的数目对本发明不是关键性的。将粗氨物流通过导管86和90(它们汇合为导管91)输送到TSA装置92。TSA是指变温吸附器(temperature swing adsorber)。TSA装置92从粗氨物流中除去部分或基本全部的水分。将粗氨物流通过导管94从TSA装置92输送到冷凝器96。如果希望或需要的话，压缩机(图中未画出)或过滤器(图中未画出)可安装在设备84/88和TSA装置92或冷凝器96之间。在冷凝器96中，通过降低温度和/或提高压力将粗氨冷凝到接近液态以形成粗氨液体。将粗氨液体通过导管98输送到蒸馏膜或渗透蒸发膜组件100。如果希望或需要的话，压缩机(图中未画出)可安装在冷凝器96和组件100之间。组件100具有膜103，它具有渗余物侧102和渗透物侧104。将渗余物物流99从膜103的渗余物侧28取出。渗余物物流99是氨和含量升高的金属和/或水分污染物的浓缩物。氨蒸汽从渗透物侧104以第一富集氨的蒸汽形式蒸发，并通过导管106流到气体分离组件108。如果希望或需要的话，压缩机可安装在组件100和组件108之间。组件108具有气体分离膜111。膜111具有渗余物侧110和渗透物侧112。将渗余物物流113从膜111的渗余物侧110取出。物流113是氨和含量升高的气体杂质的蒸汽浓缩物。将膜111与第一富集氨蒸汽的接触，得到第二富集氨蒸汽，将其通过导管114输送到热泵冷凝器116。将第二富集氨的蒸汽通过温度降低和/或压力提高在冷凝器116中冷凝。补充的氨在冷凝器116加入，以形成富集氨的液体，将其通过导管118输送到热泵蒸发器120。在蒸发器120中，富集氨的液体蒸发形成第三富集氨的蒸汽，将其通过导管122输送到设备84和88以供生产工艺使用。装置80具有阀门85、87、115、124和126以调节其中流过的各种工艺物流的流量。
本发明的装置的又一种实施方案如图4所示，并且由数字标记130概括表示。装置130表示一种其中将氨用于清洁目的并且是连续循环的生产工艺。装置130具有设备134和138，它们概括性地图示了制备作为工艺副产物的粗氨的生产设备。设备134和138的具体结构或功能或设备的数目对本发明不是关键性的。将粗氨蒸汽通过导管137和139(它们汇合为导管140)输送。导管140并入导管142中，它将该粗氨蒸汽通过过滤器144输送到冷凝器146中。在冷凝器146中，通过调节温度、体积和压力可以保持汽相148和液相150之间的平衡。希望将容器146的汽相148保持在约1.18绝对大气压，并且将温度保持在约-30℃。将该氨蒸汽通过导管152从容器146输送到气体分离组件160中。组件160具有致密聚合物材料制成的膜158。膜158具有渗余物侧154和渗透物侧156。膜158允许氨蒸汽通过，但不允许气体杂质通过。将渗余物物流162从膜158的渗余物侧154取出。渗余物物流162是氨蒸汽连同含量升高的气体杂质的浓缩物。将流出组件160的富集的氨通过导管168借助于真空泵170的作用输送到导管142，以返回到冷凝器146。将液态粗氨通过导管172借助于真空泵174从容器146输送到热泵蒸发器176。在蒸发器176中，通过调节体积、温度和压力可以保持汽相178和液相180之间的平衡。希望将蒸发器176的汽相178保持在约750psig，并且将温度保持在约90℃。通过导管206和过滤器208将该富集氨的蒸汽从蒸发器176输送到设备134和138中，以供生产工艺使用。将从蒸发器176流出的粗氨液体通过导管182输送到蒸馏膜或渗透蒸发膜组件186中。组件186具有膜192，它具有渗余物侧188和渗透物侧190。膜192由致密或微孔聚合物材料构成。将渗余物物流194从膜192的渗余物侧188取出。渗余物物流194是氨连同含量升高的金属杂质和水的浓缩物。渗余物物流194中金属杂质的相对含量高于自蒸发器176流出的粗氨液体的含量。氨在渗透物侧190蒸发，形成富集氨的蒸汽，并通过导管198借助于真空泵200的作用将其输送到容器146。补充的氨通过导售204添加到蒸发器176中。蒸馏/渗透蒸发膜组件186、气体分离组件160、冷凝器146和蒸发器176的操作条件如前所述。装置130具有阀门135、136、164、184、196、202、210和212以调节流过这些导管的各种工艺物流的流量。
图4所公开的类型的第一分离器保持并维持足以提供汽相和液相的条件即体积水平、温度和压力。第一分离器的尺寸由粗氨的生产量确定，使得具有能够提供汽相的足够顶部空间。第一分离器可以是任意冷凝和/或贮存容器或罐的形式，其中，温度和/或压力可进行调节。优选第一分离器为冷凝器。冷凝器的温度范围优选在约-30℃至10℃之间变化。在-30℃下，压力应该是约1.18绝对大气压。在此进料压力时，为了产生膜渗透的驱动力，在该膜的渗透物侧需要一个真空泵。在这些条件下，冷凝器不需要压缩机。在10℃下，压力应该是约6.075绝对大气压。在此温度下，在进入该冷凝器之前，需要压缩机压缩该氨物流。在这些条件下，对于膜装置而不需要真空泵。最优选的操作温度范围是约0℃至约5℃。在任何情况下，都将膜装置的操作压力维持在低于相应冷凝温度的氨蒸汽压，以避免氨在该膜装置中的冷凝。操作压力可通过使用压力限制设备和/或提高氨温度略微高于该冷凝温度而进行调节。
图4所公开的类型的第二分离器保持并维持足以提供汽相和液相的条件即体积水平、温度和压力。第二分离器的尺寸由粗氨的生产量确定，使得具有能够提供汽相的足够顶部空间。第二分离器的操作温度和压力通常高于第一分离器的操作温度和压力，因为需要在升高的温度和压力下向生产设备提供富集氨的蒸汽。最优选的操作压力是表压约750磅/平方英寸(psig)。第二分离器可以是任意的加工处理和/或贮存容器或罐或热泵蒸发器的形式，其中，温度和/或压力可进行调节。热泵蒸发器是最优选的。
在图4所公开的类型的蒸发器中，温度可根据生产设备所需要的蒸汽压设定为任意数值。例如，如果生产设备需要750psig的入口氨压力，则蒸发温度可设定在约90℃。氨液体在该冷凝器和蒸发器间的传递利用压缩机、优选通过热泵装置进行，正如美国专利申请序列号09/383699中所描述的那样。
本发明的方法可以根据需要进行连续或半连续的操作。连续操作是优选的。
对于本领域技术人员来说，应该能够理解本发明的方法和装置具有或采用诸如泵、压缩机、流量调节器、数字或模拟仪表、热电偶等之类的辅助装置。
本发明可用于半导体生产工艺中。本发明特别适用于氮化镓半导体的生产工艺。本发明还适用于其它采用氨作为清洁剂和洗净剂的生产工艺。
下述是本发明的非限定性实施例。除非另外规定，所有百分数和份数都是以重量计。
实施例进行试验以研究本发明所述气体分离膜的潜在性能。在穿过膜(从Nafion聚合物制造)的压力是约0.5大气压时，当操作温度从约23℃降低到约4℃下，发现氨的渗透率从约16778barrer提高到约45015barrer。由于降低温度而导致的渗透率增加随着驱动力(给定下游压力的进料压力)的提高而提高。
继续进行试验以测定杂质的渗透性。将这些结果汇总在下表中。
进料温度对膜的分离效率的影响
由前述可以看出，氨的回收率百分数和氨纯度随着温度降低而提高。
应该能够理解成，前述的说明仅是解释性说明本发明。本领域技术人员可以设计出各种不同的备选方案和改进方案而没有偏离本发明。因此，本领域应当包括所附权利要求范围之内的所有这类备选方案、改进方案和变体。
权利要求
1.一种用于富集其中含有水分和/或金属杂质和/或气体杂质的粗氨物流的方法，该方法包括冷凝所述粗氨物流以形成液态粗氨物流；然后将蒸馏膜或渗透蒸发膜与所述液态粗氨物流接触，其中，将富集氨的蒸汽流以渗透物的形式除去。
2.权利要求1所述的方法，其中所述粗氨物流是源自生产设备，并将所述富集氨的蒸汽流循环回到所述生产设备之中。
3.权利要求1所述的方法，其中将所述富集氨的蒸汽流与气体分离膜接触，将进一步富集的氨蒸汽流以渗透物的形式除去。
4.权利要求3所述的方法，其中所述粗氨物流源自生产设备，并将所述进一步富集氨的蒸汽流循环回到所述生产设备之中。
5.权利要求3所述的方法，其中将所述粗氨物流在冷凝之前与热变吸附器(thermal swing adsorber)接触。
6.一种用于富集其中含有水分和/或金属杂质和/或气体杂质的粗氨物流的方法，该方法包括通过第一分离器将所述粗氨物流分离成第一粗氨液态流和第一粗氨蒸汽流；将气体分离膜与所述第一粗氨蒸汽流接触，其中，将第一富集氨的蒸汽流以渗透物的形式除去；将所述第一富集氨的蒸汽流传送到所述第一分离器；通过第二分离器将所述第一粗氨液态流分离成第二粗氨液体流和作为产物流形式的第二富集氨的蒸汽流；将气体蒸馏膜与所述第二粗氨液体流接触，其中，将第三富集氨的蒸汽流以渗透物的形式除去；然后将所述第三富集氨的蒸汽传送到所述第一分离器。
7.权利要求6所述的方法，其中所述粗氨物流源自生产设备，并将所述产物流循环回到所述生产设备中。
8.一种用于富集其中含有水分和/或金属杂质和/或气体杂质的粗氨物流的系统，该系统包括用于冷凝所述粗氨物流以形成液态粗氨物流的冷凝器；和蒸馏膜或渗透蒸发膜，它能从所述液态粗氨物流制得富集氨的蒸汽渗透物。
9.权利要求8所述的系统，它还包括所述粗氨物流源于其中的生产设备以及能够将所述富集氨的蒸汽循环回到所述生产设备的导管。
10.权利要求8所述的系统，它还包括气体分离膜，采用该气体分离膜能够从所述富集氨的蒸汽制得进一步富集氨的蒸汽渗透物。
11.权利要求10所述的系统，还它包括所述粗氨物流源于其中的生产设备以及能够将所述进一步富集氨的蒸汽循环回到所述生产设备的导管。
12.权利要求10所述的系统，它还包括设置在所述冷凝器上游的热变吸附器。
13.一种用于富集其中含有水分和/或金属杂质和/或气体杂质的粗氨物流的系统，该系统包括第一分离器，它能够从所述第一粗氨物流形成第一粗氨液态流和第一粗氨蒸汽流；气体分离膜，它能够从所述第一粗氨蒸汽流分离出第一富集氨的蒸汽流；第一导管，它是用来输送所述第一富集氨的蒸汽流到所述第一分离器中；第二导管，它是用来输送所述第一粗氨液态流到第二分离器中，其中，所述第二分离器能够从所述第一粗氨液态流中分离出第二粗氨液态流和第二富集氨的蒸汽流；气体蒸馏膜，它能够从所述第二粗氨液态流中分离出第三富集氨的蒸汽流；和第三导管，它是用来输送所述第三富集氨的蒸汽流到所述第一分离器中。
14.权利要求13所述的系统，它还包括所述粗氨物流源于其中的生产设备，并第四导管将所述产物流循环回到所述生产设备中。
全文摘要
一种用于富集其中含有水分和/或金属杂质和/或气体杂质的粗氨物流的方法。将粗氨物流冷凝形成液态粗氨物流。将蒸馏膜或渗透蒸发膜与该液态粗氨物流接触以形成富集氨的蒸汽流，将其以渗透物的形式除去。当该粗氨物流源于生产设备时，可以将该富集氨的蒸汽流循环回到该生产设备之中。还提供了一种用于富集粗氨物流的装置。
文档编号C01C1/02GK1590298SQ20041007948
公开日2005年3月9日 申请日期2004年8月13日 优先权日2003年8月13日
发明者W·季, A·I·谢利, P·J·沙德科斯基 申请人:波克股份有限公司