技术编号:3453944
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,回收料含有二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,包括(1)将回收料进行第一加热处理;(2)将经过第一加热处理的回收料进行第二加热处理;(3)将经过第二加热处理的回收料进行第一精馏处理,以便得到第一塔顶蒸汽和第一塔釜液;(4)将第一塔顶蒸汽进行第二精馏处理,以便得到液态轻组分和第二塔釜液;(5)将第一塔釜液作为热源进行第二加热处理,以便得到四氯化硅;以及(6)将第二塔釜液作为热源进行所述第一加热处理,以便得到三氯氢硅。该方法可以实现热量和冷量的最...
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