技术编号：34540575
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种待xps能谱分析的样品和分析定位方法技术领域.本发明涉及能谱分析技术领域，尤其涉及一种待xps能谱分析的样品和分析定位方法。背景技术.x射线光电子能谱分析技术(xps)作为优异的表面能谱分析技术，有着超高表面灵敏度和能量分辨率。但是其横向分辨率较差，主要是x光本身束斑大而且聚焦困难。现在设备供应商一般是利用x光的二次电子成像技术，或者直接利用已经校准的光学显微镜来定位。无论哪种方法对于能谱微区，尤其是小于微米的微区，都存在定位不准或者重复性差的问题。发明内容.本发明提供了一种待xp...
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