技术编号：3454924
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供，包括将三氯氢硅气体和氢气通入还原炉中反应制备多晶硅棒产品料，然后从多晶硅棒产品料中选择出直径为110-130mm的符合硅芯母料要求的多晶硅棒，切割成拉制硅芯所需要的长度，洁净处理后得硅芯母料。采用本发明生产硅芯母料能减少还原用氢气的用量，可有效降低生产硅芯母料的能耗，从而降低生产成本。专利说明一种娃芯母料的制备方法 [0001] 本发明涉及多晶硅生产，特别涉及。 背景技术 [0002] 多晶硅的生产方法中目前被广泛采用的有德国西门子公...
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