技术编号:3457052
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于四氟化硅,尤其涉及一种。 背景技术四氟化硅,又叫四氟硅烷,英文名称为silicon tetrafluoride,分子式为SiF4, CAS登录号为7783-61-1。四氟化硅是一种无色、有毒、有刺激性臭味的气体,具有多种用途,除了用于氟硅酸和氟化铅的制取、水泥和人造大理石的硬化剂等,还可以用于电子和半导体行业,如用作氮化硅或硅化钽等的蚀刻剂、P型掺杂剂、外延沉积扩散硅源、制备电子级硅烷或硅等。现有技术公开了多种,其中,以萤石为主要原料制备SiF4...
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