等离子体加热流化床制备三氯氢硅的装置制造方法技术资料下载

技术编号:3457736

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本实用新型涉及一种等离子体加热流化床制备三氯氢硅的装置,包括流化床反应器(10),流化床反应器(10)内设置有热电阻丝(8),流化床反应器(10)器壁设置有硅粉加料口(11)、温度测控口(12)和压力计(9),流化床反应器(10)底部设置有等离子体枪(3)以及氢气和四氯化硅气体混合器(6),等离子体枪(3)与等离子热源体(2)相连,等离子热源体(2)与等离子电源工作气体入口(1)相连,氢气和四氯化硅气体混合器(6)与氢气入口(4)和汽化器(14)相连,汽化...
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