技术编号:3457782
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种制取一氧化硅的流化床反应器,它包括反应器壳体、坩锅、加热装置、真空系统,其特征在于(一)壳体由上盖、中腔、底板三部分组成,其中腔为空心圆柱体,其两侧面分别设置有二氧化硅原料加入管和一氧化硅蒸气逸出管;(二)上盖上设有观察孔和安全释压阀;(三)底板上分别设置有真空系统抽气管和高纯氢气输入管;(四)加热装置设置在中腔内坩锅的外围,加热温度为1100℃~1200℃;(五)坩锅置于加热装置中心部位、底板上,其上侧部连接有输入二氧化硅微粉的加料管,顶部连接收集一...
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