技术编号:3458146
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种多晶硅的生产方法,尤指一种高纯度多晶硅的生产方法。技术背景硅材料成为新的重要基础材料,例如太阳能电池、半导体技术等。同时, 硅材料的纯度直接影响到新的后续工艺,以及最终产品的性能和寿命。怎样工业化、低成本的获得高纯度硅晶体,例如纯度大于99. 9999%,成为制约新技术发展重要问题。发明内容为了得到一种适于大规模工业化、且同时达到高纯度、低成本、低污染、高效率的生产周期的多晶硅生产方法。本发明公开一种,其特征在于包括步骤如下将硅原料放入坩埚...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。