生产多晶硅的方法

文档序号:3458146阅读:222来源:国知局
专利名称:生产多晶硅的方法
生产多晶硅的方法技术领域
本发明有关于一种多晶硅的生产方法,尤指一种高纯度多晶硅的生产方法。
技术背景
硅材料成为新技术领域的重要基础材料,例如太阳能电池、半导体技术等。同时, 硅材料的纯度直接影响到新技术领域的后续工艺,以及最终产品的性能和寿命。
怎样工业化、低成本的获得高纯度硅晶体,例如纯度大于99. 9999%,成为制约新技术发展重要问题。发明内容
为了得到一种适于大规模工业化、且同时达到高纯度、低成本、低污染、高效率的生产周期的多晶硅生产方法。
本发明公开一种生产多晶硅的方法,其特征在于包括步骤如下
将硅原料放入坩埚中,通过电子束熔化原料的顶部,形成熔融状态;
在达到1500°C的熔融状态下保温,并加入造渣剂进行氧化造渣、去渣;
将去渣后的硅熔液倒入容器中,并保温36小时凝固成锭;
切除硅锭顶部,打磨四周、去除金属杂质,以得到低磷、低金属多晶硅锭。
本发明同现有技术相比,生产周期短,生产加工中外来杂质污染几率小,去除有害物质彻底,并适合大规模工业化生产。
具体实施方式
本发明为一种生产多晶硅的方法,尤其是太阳能级的多晶硅。该方法包括
将硅原料放入坩埚中,该原料中具有高磷、高金属、硼等有害杂质。所述坩埚可以采用石英、石墨等材料制成。
通过电子束熔化原料的顶部,形成熔融状态。
在达到1500°C的熔融状态下保温,并加入造渣剂进行氧化造渣、去渣,其中造渣剂为高纯石英砂(SiO2)、Na2Si03、碳酸钠、氧化钙(CaO)、氟化钙、氢氧化钡中的一种或几种。优选的所述造渣剂为Na2Si03、SiOjP CaF2,且它们的重量比为6 3. 2 1. 2。而对应的所述造渣剂与工业硅的重量比为1 3。
将去渣后的硅熔液倒入容器中,并保温36小时凝固成锭。
切除硅锭顶部,打磨四周、去除金属杂质,以得到低磷、低金属多晶硅锭。作为优选,所述被切除顶部占总高度的8%,即通过切除底部含有有害杂质部分,获得高纯度的硅Iio
同时,本发明所得的规定可以继续加工,获得更高纯度的硅粉。所述后续方法还包括将硅锭破碎至100至200目(通常采用物理粉碎)、筛分,磁选后,放入容器中;加入浓度为25%的混合酸,该混合酸中包含盐酸、氢氟酸和硝酸。对液体进行升温至90°C,并对其搅拌反应5小时;对其中粉末进行过滤并洗涤至Wi中性;对粉末进行脱水、烘干成硅粉并包装。
作为进一步提纯,对所述硅份加热至完全熔融,并保温40至50分钟,然后将熔融硅浇注到定向凝固柑祸内,冷却得到多晶硅。
以上所举者仅系本创作之部份实施例,并非用以限制本创作,致依本创作之创意精神及特征,稍如变化修饰而成者,亦应包括在本专利范围之内。
权利要求
1.一种生产多晶硅的方法,其特征在于包括步骤如下将硅原料放入坩埚中,通过电子束熔化原料的顶部,形成熔融状态; 在达到1500°C的熔融状态下保温,并加入造渣剂进行氧化造渣、去渣; 将去渣后的硅熔液倒入容器中,并保温36小时凝固成锭; 切除硅锭顶部,打磨四周、去除金属杂质,以得到低磷、低金属多晶硅锭。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于所述被切除顶部占总高度的8%。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于所述造渣剂为Na2Si03、SiA和CaF2,且它们的重量比为6 3.2 1.2。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于所述造渣剂与工业硅的重量比为1 3。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括 将硅锭破碎至100至200目、筛分,磁选后,放入容器中; 加入浓度为25%的混合酸,升温至90°C,搅拌反应5小时; 过滤并洗涤至Wi中性;脱水、烘干成硅粉并包装。
6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,对所述硅份加热至完全熔融,并保温40至 50分钟,然后将熔融硅浇注到定向凝固柑祸内,冷却得到多晶硅。
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于所述多晶硅为太阳能级的多晶硅。
全文摘要
一种生产多晶硅的方法,包括将硅原料放入坩埚中,通过电子束熔化原料的顶部,形成熔融状态;在达到1500℃的熔融状态下保温,并加入造渣剂进行氧化造渣、去渣;将去渣后的硅熔液倒入容器中,并保温36小时凝固成锭;切除硅锭顶部,打磨四周、去除金属杂质,以得到低磷、低金属多晶硅锭。该法是一种适于大规模工业化、且同时达到高纯度、低成本、低污染、高效率的生产周期的多晶硅生产方法。
文档编号C01B33/037GK102491338SQ20111037688
公开日2012年6月13日 申请日期2011年11月22日 优先权日2011年11月22日
发明者虞海盈 申请人:虞海盈
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