技术编号:34644438
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及光伏发电技术领域,尤其涉及一种水膜喷淋装置及刻蚀设备。背景技术.光伏发电行业往往通过刻蚀设备对硅片加工,为了防止在加工过程中硅片无需加工的位置发生过刻,需要在硅片上形成一层水膜。现有技术的方案是通过气动阀和手动隔膜阀控制出水量的大小,但此种方案需要人为调节阀门控制出水量,且人为调节阀门开度的调节误差较大,导致最终在硅片上形成的水膜很难满足刻蚀需求。为解决这个问题,现有技术中提供了多种水膜刮水装置,通过该装置刮去硅片上多余的水,使之满足刻蚀需求。毫无疑问,额外增加的水膜刮水装置...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。