水膜喷淋装置及刻蚀设备的制作方法

本技术涉及光伏发电，尤其涉及一种水膜喷淋装置及刻蚀设备。

背景技术：

1、光伏发电行业往往通过刻蚀设备对硅片加工，为了防止在加工过程中硅片无需加工的位置发生过刻，需要在硅片上形成一层水膜。现有技术的方案是通过气动阀和手动隔膜阀控制出水量的大小，但此种方案需要人为调节阀门控制出水量，且人为调节阀门开度的调节误差较大，导致最终在硅片上形成的水膜很难满足刻蚀需求。为解决这个问题，现有技术中提供了多种水膜刮水装置，通过该装置刮去硅片上多余的水，使之满足刻蚀需求。毫无疑问，额外增加的水膜刮水装置增加了设备的整体成本，且应用该装置后，形成水膜的过程中消耗的水量要高于正常工艺需求的水量，导致生产成本增加。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种水膜喷淋装置及刻蚀设备，以解决现有的方案在形成水膜时需要额外设置刮水装置导致的成本增加的问题。

2、本实用新型提供一种水膜喷淋装置，用于刻蚀设备，刻蚀设备用于刻蚀硅片，水膜喷淋装置包括供水总成和喷淋总成，供水总成包括支座、水箱和计量泵，支座与刻蚀设备的机体固定连接，水箱与支座固定连接，计量泵与支座固定连接，计量泵设置有进水口和出水口，进水口与水箱的内部连通，喷淋总成包括安装板，安装板与刻蚀设备的机体固定连接，安装板的底部设置有喷淋槽，硅片设置在喷淋槽内，硅片和安装板形成有喷淋间隙，安装板还设置有喷淋孔，喷淋孔与喷淋间隙连通，出水口能够与喷淋孔连通。

3、作为水膜喷淋装置的优选技术方案，供水总成还包括供水筒，供水筒开口的一端与水箱的内部连通，供水筒的侧壁上固定设置有供水接头，供水接头的一端与供水筒的内部连通，供水接头的另一端与进水口连通。

4、作为水膜喷淋装置的优选技术方案，供水接头的数量包括四个，计量泵的数量包括四个，四个供水接头与四个计量泵一一连通。

5、作为水膜喷淋装置的优选技术方案，水箱的底部固定连接有进排水接头，进排水接头被配置为向水箱内部供水或排出水箱内部的水。

6、作为水膜喷淋装置的优选技术方案，水箱的侧壁上固定设置有两个连通接头，两个连通接头均与水箱的内部连通，两个连通接头沿竖直方向设置，两个连通接头分别与连通管连接。

7、作为水膜喷淋装置的优选技术方案，水箱的侧壁固定连接有溢流接头，溢流接头与水箱的内部连通，溢流接头设置在远离进排水接头的一端。

8、作为水膜喷淋装置的优选技术方案，水箱的顶部设置有平衡孔。

9、作为水膜喷淋装置的优选技术方案，计量泵和安装板之间还设置有阀门和水管，阀门与安装板固定连接，阀门的进口与出水口通过水管连通，阀门的出口与喷淋孔连通。

10、作为水膜喷淋装置的优选技术方案，水管上还设置有单向阀，单向阀的入口朝向水管中水的流动方向。

11、本实用新型提供一种刻蚀设备，包括机体和上述任一方案的的水膜喷淋装置，水膜喷淋装置与机体固定连接。

12、本实用新型的有益效果为：

13、本实用新型提供一种水膜喷淋装置，用于刻蚀设备，刻蚀设备用于刻蚀硅片，水膜喷淋装置包括供水总成和喷淋总成，供水总成包括支座、水箱和计量泵，支座与刻蚀设备的机体固定连接，水箱与支座固定连接，计量泵与支座固定连接，计量泵设置有进水口和出水口，进水口与水箱的内部连通，喷淋总成包括安装板，安装板与刻蚀设备的机体固定连接，安装板的底部设置有喷淋槽，硅片设置在喷淋槽内，硅片和安装板形成有喷淋间隙，安装板还设置有喷淋孔，喷淋孔与喷淋间隙连通，出水口能够与喷淋孔连通。通过调节计量泵的参数实现精准控制出水量，在喷淋之后无需设置额外的水膜刮水装置，降低设备成本以及生产成本。

技术特征：

1.水膜喷淋装置，用于刻蚀设备，所述刻蚀设备用于刻蚀硅片(5)，其特征在于，包括供水总成和喷淋总成，所述供水总成包括：

2.根据权利要求1所述的水膜喷淋装置，其特征在于，所述供水总成还包括供水筒(22)，所述供水筒(22)开口的一端与所述水箱(21)的内部连通，所述供水筒(22)的侧壁上固定设置有供水接头(221)，所述供水接头(221)的一端与所述供水筒(22)的内部连通，所述供水接头(221)的另一端与所述进水口(31)连通。

3.根据权利要求2所述的水膜喷淋装置，其特征在于，所述供水接头(221)的数量包括四个，所述计量泵(3)的数量包括四个，四个所述供水接头(221)与四个所述计量泵(3)一一连通。

4.根据权利要求1所述的水膜喷淋装置，其特征在于，所述水箱(21)的底部固定连接有进排水接头(23)，所述进排水接头(23)被配置为向所述水箱(21)内部供水或排出所述水箱(21)内部的水。

5.根据权利要求4所述的水膜喷淋装置，其特征在于，所述水箱(21)的侧壁上固定设置有两个连通接头(25)，两个所述连通接头(25)均与所述水箱(21)的内部连通，两个所述连通接头(25)沿竖直方向设置，两个所述连通接头(25)分别与连通管连接。

6.根据权利要求4所述的水膜喷淋装置，其特征在于，所述水箱(21)的侧壁固定连接有溢流接头(24)，所述溢流接头(24)与所述水箱(21)的内部连通，所述溢流接头(24)设置在远离所述进排水接头(23)的一端。

7.根据权利要求4所述的水膜喷淋装置，其特征在于，所述水箱(21)的顶部设置有平衡孔(211)。

8.根据权利要求1所述的水膜喷淋装置，其特征在于，所述计量泵(3)和所述安装板(42)之间还设置有阀门(44)和水管，所述阀门(44)与所述安装板(42)固定连接，所述阀门(44)的进口与所述出水口(32)通过所述水管连通，所述阀门(44)的出口与所述喷淋孔(422)连通。

9.根据权利要求8所述的水膜喷淋装置，其特征在于，所述水管上还设置有单向阀，所述单向阀的入口朝向所述水管中水的流动方向。

10.刻蚀设备，包括机体，其特征在于，还包括权利要求1-9任一项所述的水膜喷淋装置，所述水膜喷淋装置与所述机体固定连接。

技术总结
本技术涉及光伏发电技术领域，具体公开了水膜喷淋装置及刻蚀设备，水膜喷淋装置包括供水总成和喷淋总成，供水总成包括支座、水箱和计量泵，支座与刻蚀设备的机体固定连接，水箱与支座固定连接，计量泵与支座固定连接，计量泵设置有进水口和出水口，进水口与水箱的内部连通，喷淋总成包括安装板，安装板与刻蚀设备的机体固定连接，安装板的底部设置有喷淋槽，硅片设置在喷淋槽内，硅片和安装板形成有喷淋间隙，安装板还设置有喷淋孔，喷淋孔与喷淋间隙连通，出水口能够与喷淋孔连通。通过调节计量泵的参数实现精准控制出水量，在喷淋之后无需设置额外的水膜刮水装置，降低设备成本以及生产成本。

技术研发人员：王涛,蒋新,刘苏凯,沈红旗,施利君
受保护的技术使用者：苏州晶洲装备科技有限公司
技术研发日：20230324
技术公布日：2024/1/12