技术编号：3464856
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。制备三氯甲硅烷的方法和设备本发明涉及优选地通过硅颗粒与四氯化硅和氢气在流化床反应器中的催化反应制备三氯甲硅烷的方法以及可实施该方法的设备。众所周知，在高纯度硅的制造中三氯甲硅烷是一种有价值的中间产物，其为光电应用、半导体技术以及有机硅化学所需。因此，例如，往往仍具有较高比例杂质的冶金硅可被转化为三氯甲硅烷，三氯甲硅烷接着用水还原产生高纯度硅。这种方法从例如DE2919086已知。作为其替代方案，如例如DE3311650中所述，还可以通过甲硅烷的热分解获得高...
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