技术编号:34655328
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及芯粒测试技术领域,特别涉及一种用于测试芯粒的针卡控制装置、控制系统和控制方法。背景技术.在对芯粒进行测试时,通常需要使用针卡上的探针对芯粒进行抵靠针扎,由于各芯粒的结构十分小巧精细,那么对针卡位置的控制精度要求也会较高,而现有的针卡控制方法的控制精度却无法达到要求。.因此,亟需一种用于测试芯粒的针卡控制装置。发明内容.为了解决现有的针卡控制方法的控制精度较低的问题,本发明实施例提供了一种用于测试芯粒的针卡控制装置、控制系统和控制方法。.第一方面,本发明实施例提供了一种用于测...
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