技术编号:3466214
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化工原料的合成方法,尤其是涉及一种。技术背景硅烷是重要的化工原料,可用于制造电子级多晶硅、非晶硅薄膜电池、硅片外延、 覆膜玻璃、纳米硅材料等,目前仅在美国和日本等少数企业实现了产业化。美国采用的UCC 法(以三氯氢硅烷和氢气为原料)和MeMc法(以四氟化硅和氢化铝钠为原料)生产硅烷,适合 建设(单个工厂)年产千吨级以上硅烷工厂,投资巨大(需要几十亿到上百亿人民币),技术、 设备和投资门槛都极高;日本是采用小松法(以氯化铵和硅化镁为原料)生产硅烷,...
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