技术编号:3468979
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种超净高纯化学试剂的生产装置,尤其是涉及一种 超高纯过氧化氢连续生产的装置。超高纯过氧化氢主要适用于微电子工业 制造大规模集成电路半导体器件行业中作为清洗和腐蚀之用。背景技术超净高纯化学试剂又称微电子化学品,是微电子行业加工制造中关键性的基础材料,主要用于集成电路(ic)微加工过程中的清洗和蚀刻。其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。随着ic存储含量的不断提高,容量也在不断地增大,因而氧化膜变得更薄。但是微电子...
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