技术编号:3469420
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在大气压下通过沉淀法来制备碳酸铈粉体的方 法,该方法可仅通过改变在制备碳酸铈过程中所用溶剂的类型而容易 地控制所得碳酸铈的晶体结构。背景技术如本领域所公知,二氧化铈(Ce02)是催化剂、荧光体、化妆品和 抛光剂中广泛使用的高功能性陶瓷材料,并且最近作为在半导体装置 的STI (浅沟槽隔离(Shallow Trench Isolation))方法中使用的磨蚀剂 和作为光学玻璃抛光剂而引起关注。所述二氧化铈一般通过一种液相 方法、 一种固相方法等...
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