技术编号:34697106
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及单晶炉设备技术领域,更具体地,涉及一种单晶炉真空管道系统。背景技术.单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,在单晶炉停止工作后,需要对单晶炉进行拆清工作。.现有拆清工作的流程需要两名工作人员,一人负责打开真空管道出口的防爆阀盲板,掏出部分已氧化完成的氧化物,静置剩余氧化物,等待其完全氧化,另一人负责提升旋开副炉室,再提升旋开主炉室,之后二人合作完成拆清作业;由于工作人员有时会忘记打开防爆阀盲板,在不打开防爆阀盲板的情况...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。