一种单晶炉真空管道系统的制作方法

本技术涉及单晶炉设备，更具体地，涉及一种单晶炉真空管道系统。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，在单晶炉停止工作后，需要对单晶炉进行拆清工作。

2、现有拆清工作的流程需要两名工作人员，一人负责打开真空管道出口的防爆阀盲板，掏出部分已氧化完成的氧化物，静置剩余氧化物，等待其完全氧化，另一人负责提升旋开副炉室，再提升旋开主炉室，之后二人合作完成拆清作业；由于工作人员有时会忘记打开防爆阀盲板，在不打开防爆阀盲板的情况下，单晶炉内的氧化物无法完全氧化，在清理时容易发生爆炸，危及工作人员的生命安全。

3、因此，亟需提供一种单晶炉真空管道系统，确保了拆清工作的安全性，避免清理单晶炉时发生爆炸危及工作人员的生命安全等问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉真空管道系统，包括第一真空管道和单晶炉安全装置；

2、第一真空管道上连通有至少一个第二真空管道，第一真空管道具有出口，在出口处安装有防爆阀盲板；

3、单晶炉安全装置包括固定件和与固定件相连接的限位开关，固定件安装于第一真空管道上，防爆阀盲板相对于出口为开启设置或关闭设置，防爆阀盲板相对于出口为开启设置时，防爆阀盲板与限位开关相抵接，限位开关与单晶炉真空管道系统的电控柜电连接。

4、可选地，第二真空管道的数量为两个，两个第二真空管道分别位于第一真空管道的两侧；

5、每个第二真空管道的一端均与第一真空管道相连通，每个第二真空管道的另一端均与同一个单晶炉相连通。

6、可选地，防爆阀盲板相对于出口为开启设置时，开启设置时的防爆阀盲板至关闭设置时的防爆阀盲板的转动角度范围为135°-180°。

7、可选地，防爆阀盲板相对于出口为关闭设置时，防爆阀盲板与第一真空管道的轴线的夹角为45°。

8、可选地，第一真空管道的外径范围为170mm-175mm。

9、可选地，固定件与限位开关为一体式结构或分体式结构。

10、可选地，限位开关为机械式限位开关、电子感应式限位开关、光电式限位开关中的任意一种。

11、可选地，固定件为抱箍、支架或卡扣中的任意一种。

12、可选地，当限位开关为机械式限位开关时，机械式限位开关包括限位开关本体，限位开关本体的顶部与撞杆相连接，撞杆远离限位开关本体的一端与触点相连接，防爆阀盲板相对于出口为开启设置时，防爆阀盲板与触点相抵接。

13、可选地，当固定件为抱箍时，抱箍包括相对设置的第一抱箍和第二抱箍，第一抱箍和第二抱箍相连接；

14、第一抱箍包括第一抱箍本体和与第一抱箍本体相连接的第一连接板，第一连接板与限位开关相连接。

15、与现有技术相比，本实用新型提供的单晶炉真空管道系统，至少实现了如下的有益效果：

16、本实用新型提供的单晶炉真空管道系统，包括第一真空管道和单晶炉安全装置；第一真空管道上连通有至少一个第二真空管道，第一真空管道具有出口，在出口处安装有防爆阀盲板；单晶炉安全装置包括固定件和与固定件相连接的限位开关，固定件安装于第一真空管道上，防爆阀盲板相对于出口为开启设置或关闭设置，防爆阀盲板相对于出口为开启设置时，防爆阀盲板与限位开关相抵接，限位开关与单晶炉真空管道系统的电控柜电连接；采用上述方案，通过单晶炉安全装置使得在防爆阀盲板触发限位开关后才能提升旋开单晶炉的主炉室，确保了拆清工作的安全性，避免了清理单晶炉时发生爆炸危及工作人员的生命安全等问题。

17、当然，实施本实用新型的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

18、通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。

技术特征：

1.一种单晶炉真空管道系统，其特征在于，包括第一真空管道和单晶炉安全装置；

2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道系统，其特征在于，所述第二真空管道的数量为两个，两个所述第二真空管道分别位于所述第一真空管道的两侧；

3.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道系统，其特征在于，所述防爆阀盲板相对于所述出口为开启设置时，开启设置时的所述防爆阀盲板至关闭设置时的所述防爆阀盲板的转动角度范围为135°-180°。

4.根据权利要求3所述的单晶炉真空管道系统，其特征在于，所述防爆阀盲板相对于所述出口为关闭设置时，所述防爆阀盲板与所述第一真空管道的轴线的夹角为45°。

5.根据权利要求2所述的单晶炉真空管道系统，其特征在于，所述第一真空管道的外径范围为170mm-175mm。

6.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道系统，其特征在于，所述固定件与所述限位开关为一体式结构或分体式结构。

7.根据权利要求6所述的单晶炉真空管道系统，其特征在于，所述限位开关为机械式限位开关、电子感应式限位开关、光电式限位开关中的任意一种。

8.根据权利要求6所述的单晶炉真空管道系统，其特征在于，所述固定件为抱箍、支架或卡扣中的任意一种。

9.根据权利要求7所述的单晶炉真空管道系统，其特征在于，当所述限位开关为机械式限位开关时，所述机械式限位开关包括限位开关本体，所述限位开关本体的顶部与撞杆相连接，所述撞杆远离所述限位开关本体的一端与触点相连接，所述防爆阀盲板相对于所述出口为开启设置时，所述防爆阀盲板与所述触点相抵接。

10.根据权利要求8所述的单晶炉真空管道系统，其特征在于，当所述固定件为抱箍时，所述抱箍包括相对设置的第一抱箍和第二抱箍，所述第一抱箍和所述第二抱箍相连接；

技术总结
本技术公开了一种单晶炉真空管道系统，包括第一真空管道和单晶炉安全装置；第一真空管道上连通有至少一个第二真空管道，第一真空管道具有出口，在出口处安装有防爆阀盲板；单晶炉安全装置包括固定件和与固定件相连接的限位开关，固定件安装于第一真空管道上，防爆阀盲板相对于出口为开启设置或关闭设置，防爆阀盲板相对于出口为开启设置时，防爆阀盲板与限位开关相抵接，限位开关与单晶炉真空管道系统的电控柜电连接。本技术通过单晶炉安全装置使得在防爆阀盲板触发限位开关后才能提升旋开单晶炉的主炉室，确保了拆清工作的安全性，避免了清理单晶炉时发生爆炸危及工作人员的生命安全等问题。

技术研发人员：刘玉,郑衡,舒一波,朱盼,陈铭,张亮
受保护的技术使用者：四川晶科能源有限公司
技术研发日：20230118
技术公布日：2024/1/13