一种取单晶防护装置的制作方法

本技术涉及单晶制造设备，特别涉及一种取单晶防护装置。

背景技术：

1、单晶炉是半导体技术领域生长单晶的常用设备，生长单晶时，通常先在单晶炉中，通入惰性气体，将多晶硅材料投入单晶炉中并高温熔化，然后引入细长的籽晶，使原料棒的顶部和在其上部靠近的同轴固定的单晶籽晶之间形成榕滴，随着硅芯晶体不断生长，单晶炉中提拉机构向上作慢速提拉，最终生成单晶棒，然后将单晶棒从单晶炉的副炉室中取出。现有技术中，由于取出单晶时作业人员需要将副炉室在水平方向上旋转，而副炉室在旋转的过程中带动单晶棒旋转，由于单晶上端的籽晶直径细且长，若作业人员用力不当，单晶在随副炉室旋转过程中极易因晃动幅度过大而发生断晶掉落事故，掉落时或损坏热场、或与单晶炉边缘磕碰导致内部隐裂扩张，或烫伤作业人员，无论哪种后果均会带来较大的安全问题和经济损失。因此，急需一种取单晶防护装置。

技术实现思路

1、有鉴于此，有必要提供一种能够提高取单晶作业安全性和稳定性的取单晶防护装置。

2、一种取单晶防护装置，包括：托架，呈长方体状，由八根金属方杆依次固定围合而成；托架两端分别对称固设吊臂；托架中心分别对称固设组成井型结构的两组横腹杆和两组竖腹杆；托架中心顶面固定设置托盘；所述吊臂底端与托架垂直固定连接，所述吊臂上部攻设螺纹，作业时通过螺母固定在副炉室的炉盖下沿；所述托盘无底，所述托盘的盘体横截面呈圆环状；所述盘体内侧沿圆周开设呈l状的托槽。

3、优选的，所述托槽内设置呈l状的防裂板。

4、优选的，所述防裂板由耐高温非金属材质制作。

5、优选的，所述防裂板由聚四氟乙烯材质制成。

6、优选的，所述托槽的尺寸与单晶尺寸相匹配。

7、上述取单晶防护装置，通过设置托盘，使单晶下部四沿落入在托盘内的l状托槽内；通过将托架设置为由八根金属方杆固定围合而成，增加托架的刚度，通过设置井型结构的横腹杆和竖腹杆，进一步增强托架的刚度性能和稳定性，由于井型结构的横腹杆和竖腹杆设置在托盘下方，能够对托架的重点承重部位进行加固，使托架在受载荷力作用下不易变形，作业时更加稳固，作业更加安全，使用寿命也得到延长；通过在托架两端对称固设吊臂，作业时吊臂上部通过螺母固定在副炉室炉盖下沿，使得整个防护装置固定在副炉室下方，在副炉室旋转时，使单晶被固定，不会随着副炉室的旋转而晃动；与现有技术相比，本实用新型降低了单晶因副炉室旋转而晃动掉落的风险，提高了取单晶作业的安全性和稳定性。

技术特征：

1.一种取单晶防护装置，其特征在于，包括：托架，呈长方体状，由八根金属方杆依次固定围合而成；托架两端分别对称固设吊臂；托架中心分别对称固设组成井型结构的两组横腹杆和两组竖腹杆；托架中心顶面固定设置托盘；所述吊臂底端与托架垂直固定连接，所述吊臂上部攻设螺纹，作业时通过螺母固定在副炉室的炉盖下沿；所述托盘无底，所述托盘的盘体横截面呈圆环状；所述盘体内侧沿圆周开设呈l状的托槽。

2.如权利要求1所述的取单晶防护装置，其特征在于：所述托槽内设置呈l状的防裂板。

3.如权利要求2所述的取单晶防护装置，其特征在于：所述防裂板由耐高温非金属材质制作。

4.如权利要求3所述的取单晶防护装置，其特征在于：所述防裂板由聚四氟乙烯材质制成。

5.如权利要求1所述的取单晶防护装置，其特征在于：所述托槽的尺寸与单晶尺寸相匹配。

技术总结
一种取单晶防护装置，包括：托架，呈长方体状，由八根金属方杆依次固定围合而成；托架两端分别对称固设吊臂；托架中心分别对称固设组成井型结构的两组横腹杆和两组竖腹杆；托架中心顶面固定设置托盘；所述吊臂底端与托架垂直固定连接，所述吊臂上部攻设螺纹，作业时通过螺母固定在副炉室的炉盖下沿；所述托盘无底，所述托盘的盘体横截面呈圆环状；所述盘体内侧沿圆周开设呈L状的托槽。

技术研发人员：郭仙,林通
受保护的技术使用者：宁夏申和新材料科技有限公司
技术研发日：20221228
技术公布日：2024/1/13