一种改善扩散炉管气体分布的结构的制作方法

本技术涉及太阳能电池片生产，具体为一种改善扩散炉管气体分布的结构。

背景技术：

1、目前太阳能电池片制造端作为核心工序扩散端由最初的常压扩散逐渐升级到低压扩散，在较低的压力下，气体行程增加，分布的均匀性有明显的改善。

2、但现在的扩散炉管的设计主要为单一进气管，单一抽气口两种叠加组合，在使用过程中存在的不足之处：硅片整体方阻均匀性底部优于上部，此外，炉口的气体相对较其他区域多，从而影响整体的扩散均匀性。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种改善扩散炉管气体分布的结构，具备提高炉管气体的扩散均匀性的优点，解决了单一抽气口两种叠加组合，在使用过程中存在的不足之处：硅片整体方阻均匀性底部优于上部，此外，炉口的气体相对较其他区域多，从而影响整体的扩散均匀性的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种改善扩散炉管气体分布的结构，包括扩散炉管、石英挂环、进气管、抽气泵、抽气管；

5、所述扩散炉管的内顶壁固定有石英挂环，而石英挂环中贯穿有延伸至扩散炉管外侧的进气管，所述抽气泵位于扩散炉管的左侧，所述抽气泵的右侧设有抽气管，所述抽气管为三通气管，其中一侧连接于抽气泵，另外两侧连接于扩散炉管上，该两侧的连接处为上下分布，且其中一个延伸至扩散炉管中的内底部。

6、进一步，其中一个延伸至扩散炉管内底部的气管上设有位于扩散炉管外部的控制阀门。

7、(三)有益效果

8、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

9、1、该改善扩散炉管气体分布的结构，将进气端由下方调整为上方，通过石英环固定，可以改善硅片底部方阻低上部方阻高的情况，同时进气管的长度缩短至原先的五分之四，进气管长度缩短对炉口气体集中有改善；通过增加的一组抽气端口同时与控制阀开度相互配合进一步的使得管内的尤其炉口端的气体分布更加均匀，同时整个炉管的气体分布较之前有明显改善。

技术特征：

1.一种改善扩散炉管气体分布的结构，包括扩散炉管(1)、石英挂环(2)、进气管(3)、抽气泵(4)、抽气管(5)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种改善扩散炉管气体分布的结构，其特征在于：其中一个延伸至扩散炉管(1)内底部的气管上设有位于扩散炉管(1)外部的控制阀门(6)。

技术总结
本技术涉及一种改善扩散炉管气体分布的结构，包括扩散炉管、石英挂环、进气管、抽气泵、抽气管；所述扩散炉管的内顶壁固定有石英挂环，而石英挂环中贯穿有延伸至扩散炉管外侧的进气管，所述抽气泵位于扩散炉管的左侧，所述抽气泵的右侧设有抽气管。该改善扩扩散炉管气体分布的结构，通过增加的一组抽气端口同时与控制阀开度相互配合进一步的使得管内的尤其炉口端的气体分布更加均匀，同时整个炉管的气体分布较之前有明显改善。

技术研发人员：郭金城,王越雅,王森,朱彦斌
受保护的技术使用者：江苏润阳世纪光伏科技有限公司
技术研发日：20221122
技术公布日：2024/1/13