技术编号:3469804
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及 一 种用于降低工业纯的卣代硅烷中的周期表第三主族元素(优选硼和铝)的含量的方法,以制备超高纯(H6chstreinen)的囟代硅 烷,特别是超高纯的氯硅烷。此外本发明还涉及一种用于实施该方法的 装置(Anlage )。 背景技术从现有技术已知两种用于纯化卣代硅烷的方法,这些方法均基于使 用与其它配合剂(Komplexbildner)组合(in Verbindung mit)的三苯基氯 甲烷(Tnphenylmethylchlorid )。其一是...
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