技术编号：3470385
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于化工生产，特别涉及到一种三氯氢硅合成产物加压冷 凝的生产工艺。背景技术三氯氢硅是制造硅烷偶联剂和其它有机硅产品的重要中间体，还是作为制 备半导体级多晶硅和太阳能级多晶硅的重要原材料。随着目前国际国内对多晶 硅需求的日益增加，高质量以及大批量的三氯氢硅稳定供应显得尤为重要。三氯氢硅合成大多采用常压合成工艺，单台设备产能、原料利用率较低， 系统配置不完善，如无专用液氯汽化系统、无液氯或氯化氢脱水装置、废气尾 气处理回收系统不完善等。三氯氢硅合成产物是...
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