技术编号:3471059
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于材料制备领域,提供,主要通过控制生长温度以及生长装置中坩埚顶与坩埚体的温度差,实现高质量非极性面氮化铝材料的制备。具体制备过程包括(1)物料预处理对氮化铝物料在氮气气氛中进行高温烧结预处理;(2)升温阶段在氮气气氛中,以预处理后的物料做氮化铝源,按一定速率进行升温,并保持坩埚顶与坩埚体有一定的温度差;(3)保温阶段升温至合适的生长温度后,调整坩埚顶与坩埚体之间的温度差,进入保温阶段,通过物料升华制备氮化铝;(4)降温阶段保温一段时间后,再次调整坩...
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