技术编号:34730719
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本说明书中实施方式关于流量传感器的技术领域,具体涉及一种气体流量传感器芯片和气体流量传感器。背景技术.随着科技技术的发展,流量传感器在工业生产中得到广泛的应用。其中,该流量传感器可以对气体、液体、蒸汽等介质流量进行测量。随着技术的发展,mems技术得到发展,基于mems技术的热式气体流量传感器具有响应快、功耗低、体积小、高度集成等特点,使得基于mems技术的热式气体流量传感器得到了很大发展。热式气体流量传感器在测量过程中,污染物跟随流动介质达到该流量传感器芯片上,经过长时间的沉积后,达到一...
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