气体流量传感器芯片和气体流量传感器的制作方法

本说明书中实施方式关于流量传感器的，具体涉及一种气体流量传感器芯片和气体流量传感器。

背景技术：

1、随着科技技术的发展，流量传感器在工业生产中得到广泛的应用。其中，该流量传感器可以对气体、液体、蒸汽等介质流量进行测量。随着技术的发展，mems技术得到发展，基于mems技术的热式气体流量传感器具有响应快、功耗低、体积小、高度集成等特点，使得基于mems技术的热式气体流量传感器得到了很大发展。热式气体流量传感器在测量过程中，污染物跟随流动介质达到该流量传感器芯片上，经过长时间的沉积后，达到一定程度后，污染物会改变该气体传感器芯片表面上的热传导值，以及气体传感器上游来流方向的微流场，从而影响测量信号。因此，沉积在该气体传感器芯片上的污染物会导致该气体传感器芯片的测量精度降低。

2、因此，现有技术中的气体传感器芯片可能会出现因为污染物降低了测量精度的技术问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本说明书多个实施方式致力于提供一种气体流量传感器芯片和气体流量传感器，以一定程度上解决了流动介质中污染物在该气体芯片上沉淀，从而提高该气体流量新芯片的测量精度的问题。

2、为了实现上述目的，本说明书的一个实施方式提供一种气体流量传感器芯片，包括：电路基板，加热电阻和测温电阻；所述气体流量传感器芯片具有用于测量气体流量的第一工作模式；和，为所述测温电阻通电，使所述测温电阻发热的第二工作模式；其中，所述第二工作模式中所述测温电阻的工作电流，大于所述第一工作模式中所述测温电阻的工作电流。

3、本说明书的一个实施方式提供一种气体流量传感器，所述气体传感器包括上述的气体流量传感芯片。

4、本说明书提供的一种气体流量传感器芯片与现有技术相比，其有益效果在于：通过测温电阻具有用于测量气体流量的第一工作模式和通过为所述测温电阻通过电，使所述测温电阻发热的第二工作模式，通过该测温电阻发热阻挡流动介质中的污染物沉淀在该气体流量传感器芯片上，从而在一定程度上提高了该气体流量传感器芯片的测量精度。

技术特征：

1.一种气体流量传感器芯片，其特征在于，包括：电路基板，加热电阻和测温电阻；所述气体流量传感器芯片具有用于测量气体流量的第一工作模式；和，为所述测温电阻通电，使所述测温电阻发热的第二工作模式；其中，所述第二工作模式中所述测温电阻的工作电流，大于所述第一工作模式中所述测温电阻的工作电流。

2.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，控制所述测温电阻的工作电流在所述第一工作模式和所述第二工作模式对应的所述工作电流之间进行交替转换。

3.根据权利要求2所述的传感器芯片，其特征在于，设置所述交替转换的时间间隔；其中，所述时间间隔的取值不影响所述传感器芯片测量气体流量。

4.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，流动介质具有一个主流动方向；在所述主流动方向上至少部分处于所述第二工作模式的所述测温电阻在处于所述第一工作模式的所述测温电阻的前面。

5.根据权利要求4所述的传感器芯片，其特征在于，设置所述第二工作模式的所述测温电阻与所述第一工作模式的所述测温电阻的距离为1～2mm。

6.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，至少部分所述传感器芯片是悬空结构。

7.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，所述测温电阻至少包括外侧电阻对和内侧电阻对；其中，所述外侧电阻对和所述内侧电阻对分别设置在所述加热电阻的两侧；在所述外侧电阻对的输出信号与所述内侧电阻对的输出信号的比较值大于或等于污染阈值时，为所述外侧电阻对通过电，使所述外侧电阻对的工作模式为所述第二工作模式。

8.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，所述测温电阻至少包括外侧电阻对和内侧电阻对；其中，所述外侧电阻对和所述内侧电阻对为对称电阻对；在所述外侧电阻对的差分电压和所述内侧电阻对的差分电压不同的情况下，为所述外侧电阻对通电，增加所述外侧电阻对的工作电流，使所述外侧电阻对的工作模式为所述第二工作模式。

9.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，所述测温电阻输入零点电压；在所述测温电阻具有输出电压时，为所述测温电阻通电，使所述测温电阻启动所述第二工作模式。

10.一种气体流量传感器，其特征在于，包括权利要求1-9任一所述的气体流量传感器芯片。

技术总结
本说明书实施方式关于流量传感器的技术领域，提供一种气体流量传感器芯片，包括：电路基板，加热电阻和测温电阻；所述气体流量传感器芯片具有用于测量气体流量的第一工作模式；和，为所述测温电阻通电，使所述测温电阻发热的第二工作模式；其中，所述第二工作模式中所述测温电阻的工作电流，大于所述第一工作模式中所述测温电阻的工作电流。通过上述技术方法，通过为所述测温电阻通电，使所述测温电阻处于发热的第二工作模式，从而在一定程度上降低流动介质中的污染物对该气体流量传感器芯片的污染程度，从而提高该气体流量传感器芯片的测量精度。

技术研发人员：段所行
受保护的技术使用者：祎智量芯（江苏）电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13