技术编号:3473078
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种三氯硅烷的制备方法和三氯硅烷的制备装置。一种装置,其具备向内部导入四氯硅烷和氢,通过在800℃以上进行还原反应,生成三氯硅烷和氯化氢的反应生成气体的反应室2;将反应室2内部的反应生成气体导出到外部的反应生成气体导出设备4;以及向反应生成气体导出设备4所导出的反应生成气体中混入氢、四氯硅烷或氯化氢,来冷却反应生成气体的冷却气体导入设备5。专利说明三氯硅烷的制备方法和三氯硅烷的制备装置[0001]本申请是原案申请日为2007年10月26日、原案申...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。