技术编号:3474816
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种西门子法生产多晶硅工艺中还原炉的进料喷嘴,所述的进料喷嘴的下端通过外螺纹固定在还原炉的底盘上,上端开有一中心孔,中心孔为圆柱形的通孔,所述的中心孔的上端进行60度斜角的扩孔,并在中心孔的四周均布有四个螺旋孔;本实用新型中将中心孔做了改进,将中心孔的上端进行了60度斜角的扩孔,这样就保证了气体浓度的均匀性,实现了硅棒表面及直径的均匀性,减少了倒棒现象,还增加了螺旋状的侧孔,螺旋孔会使通过侧孔的气体呈螺旋状上升,有利于增加硅棒顶部的物料浓度,使硅棒横梁位置...
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