技术编号:34878865
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种用于ate测试设备的集分水器结构技术领域.本发明涉及半导体生产设备的技术领域,具体来说,是一种用于ate测试设备的集分水器结构。背景技术.目前的ate测试设备的集分水器采用铝材机加工的方式制作,并有多零件组装程序,存在结构占用空间大、加工和组装费时成本高、冷热液体隔离不彻底等问题。比如:.、集分水器主体为铝块机加工而成,分为单独的冷、热液腔(如图),两端用密封圈加盖板用螺钉固定,其中左侧一列快插接头、冷液腔及集冷液总管等实现冷液总进和分流,右侧一列快拆接头、热液腔和集热液总管等实现...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。