一种用于ATE测试设备的集分水器结构的制作方法

本发明涉及半导体生产设备的，具体来说，是一种用于ate测试设备的集分水器结构。

背景技术：

1、目前的ate测试设备的集分水器采用铝材机加工的方式制作，并有多零件组装程序，存在结构占用空间大、加工和组装费时成本高、冷热液体隔离不彻底等问题。比如：

2、1、集分水器主体为铝块机加工而成，分为单独的冷、热液腔(如图1)，两端用密封圈加盖板用螺钉固定，其中左侧一列快插接头、冷液腔及集冷液总管等实现冷液总进和分流，右侧一列快拆接头、热液腔和集热液总管等实现各支路分流热液体的收集并从热液总出口流出，该集分水器结构复杂，零件较多，整个密封回路容易因某个位置密封圈破损或者零件组装异常问题造成漏液；

3、2、铝材主体的冷、热液体腔之间因铝材材料本身连接较多，冷、热液体之间通过铝本体的热传导较多，对系统的温度控制、散热及能耗等方面带来不利；

4、3、整个结构包含的机加工件较多，若清洁不充分，小铝屑或铁屑存在的风险较大。小碎金属屑易进入整个液体回路，造成支路上快插接头的密封失效而漏液，从而造成芯片测试整个系统必须停机检查维修或者更换集分水器，影响晶元/芯片的测试进度，造成时间浪费和经济损失。

技术实现思路

1、本发明提供了一种用于ate测试设备的集分水器结构，解决现有集分水器结构复杂，零件较多，整个密封回路容易因某个位置密封圈破损或者零件组装异常问题造成漏液等技术问题。

2、本发明可以通过以下技术方案实现：

3、一种用于ate测试设备的集分水器结构，包括并排间隔设置的冷液集分管和热液集分管，其一端均封闭，另一端通过热交换器连通在一起，在所述冷液集分管和热液集分管的管壁上均匀间隔设置有多个连通接口，它们分别对应与多个液冷板卡的进液口和出液口连通，从而实现对多个液冷板卡的液冷散热。

4、进一步，所述冷液集分管和热液集分管上的连通接口一一对应设置，处于热液集分管的连通接口通过连接管道与对应液冷板卡的出液口连通，处于冷液集分管的连通接口通过连接管道与对应液冷板卡的进液口连通，它们的连通处均采用自密封快速公/母接头配合连通。

5、进一步，所述冷液集分管和热液集分管通过多个连接基座并排间隔设置在一起，每个所述连接基座的两侧均设置有分别与冷液集分管和热液集分管配合的弧形凹口，中间位置设置安装通孔，它们均匀间隔设置在冷液集分管和热液集分管的一侧；

6、与所述冷液集分管和热液集分管的一侧相对的一侧上均设置有一个连接板，所述连接板沿冷液集分管或热液集分管的轴向延伸，其上均匀设置有与连通接口一一配合的通孔，每个所述通孔位置均设置有自密封快速公/母接头。

7、进一步，所述连接板的一面与冷液集分管或热液集分管的管壁配合，两者采用焊接连接；

8、每个所述连接基座与冷液集分管和热液集分管也采用焊接连接。

9、进一步，所述冷液集分管上的连通接口和热液集分管上对应的连通接口的周边设置有相同的标识，不同位置的连通接口的标识各不相同。

10、本发明有益的技术效果在于：

11、1、结构简单，零件少，节省零件加工的时间成本和经济成本；

12、2、采用整体焊接结构，便于密封控制，提升长时间应用后的密封可靠性；

13、3、焊接后仅需要组装快插接头，减少不必要的组装环节，避免因组装环节较多，引入新的泄露风险；

14、4、对后续测试机台的应用提供保障，减少因集分水器意外泄露造成的停机维护，降低因延误芯片的测试进度造成经济损失的风险。

技术特征：

1.一种用于ate测试设备的集分水器结构，其特征在于：包括并排间隔设置的冷液集分管和热液集分管，其一端均封闭，另一端通过热交换器连通在一起，在所述冷液集分管和热液集分管的管壁上均匀间隔设置有多个连通接口，它们分别对应与多个液冷板卡的进液口和出液口连通，从而实现对多个液冷板卡的液冷散热。

2.根据权利要求1所述的用于ate测试设备的集分水器结构，其特征在于：所述冷液集分管和热液集分管上的连通接口一一对应设置，处于热液集分管的连通接口通过连接管道与对应液冷板卡的出液口连通，处于冷液集分管的连通接口通过连接管道与对应液冷板卡的进液口连通，它们的连通处均采用自密封快速公/母接头配合连通。

3.根据权利要求2所述的用于ate测试设备的集分水器结构，其特征在于：所述冷液集分管和热液集分管通过多个连接基座并排间隔设置在一起，每个所述连接基座的两侧均设置有分别与冷液集分管和热液集分管配合的弧形凹口，中间位置设置安装通孔，它们均匀间隔设置在冷液集分管和热液集分管的一侧；

4.根据权利要求3所述的用于ate测试设备的集分水器结构，其特征在于：所述连接板的一面与冷液集分管或热液集分管的管壁配合，两者采用焊接连接；

5.根据权利要求1所述的用于ate测试设备的集分水器结构，其特征在于：所述冷液集分管上的连通接口和热液集分管上对应的连通接口的周边设置有相同的标识，不同位置的连通接口的标识各不相同。

技术总结
本发明涉及半导体生产设备的技术领域，公开了一种用于ATE测试设备的集分水器结构，其特征在于：包括并排间隔设置的冷液集分管和热液集分管，其一端均封闭，另一端通过热交换器连通在一起，在所述冷液集分管和热液集分管的管壁上均匀间隔设置有多个连通接口，它们分别对应与多个液冷板卡的进液口和出液口连通，从而实现对多个液冷板卡的液冷散热。通过并列间隔设置的冷液集分管和热液集分管，能够尽量减少冷液集分管和热液集分管之间热传导，避免冷液集分管内部的液体被加热，提高整个集分水器的制冷效果，降低系统能耗，组成零件少，降低了结构复杂度，更容易实现密封，提升了整体结构的可靠性，实用性更好。

技术研发人员：张波
受保护的技术使用者：上海御渡半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13